[發(fā)明專利]撓性機(jī)構(gòu)及含有該撓性機(jī)構(gòu)的龍門裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610322056.8
• 申請(qǐng)日: 2016-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107378514B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何長(zhǎng)政;陳宜文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大銀微系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): B23Q1/01
• 分類號(hào): B23Q1/01;B23Q11/00
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 趙郁軍;程鳳儒

本發(fā)明提供一種撓性機(jī)構(gòu)及含有該撓性機(jī)構(gòu)的龍門裝置，該撓性機(jī)構(gòu)包括第一結(jié)合件、第二結(jié)合件、第一可撓件、第二可撓件，該第一可撓件的剛性大于第二可撓件的剛性，用以提高第一可撓件于第一軸向上的抗變形能力；該龍門裝置包括座、梁、第一撓性機(jī)構(gòu)，該第一撓性機(jī)構(gòu)的第一可撓件的剛性大于第二可撓件的剛性，用以提高第一可撓件于第一軸向上的抗變形能力。本發(fā)明的撓性機(jī)構(gòu)據(jù)以對(duì)龍門橫梁因運(yùn)動(dòng)誤差或變形等因素所產(chǎn)生的位置空間誤差提供補(bǔ)償，可撓件在相對(duì)于橫梁受有外力施加的運(yùn)動(dòng)軸向上提升剛性，以避免橫梁在運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生遲滯現(xiàn)象。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明與運(yùn)動(dòng)臺(tái)座有關(guān)，特別是關(guān)于一種撓性機(jī)構(gòu)及含有該撓性機(jī)構(gòu)的龍門裝置。

背景技術(shù)

囿于結(jié)構(gòu)剛性、制造、組裝以及控制技術(shù)上的限制，運(yùn)動(dòng)臺(tái)座于運(yùn)動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的幾何誤差或空間面誤差是難以避免的，而為了降低位置誤差對(duì)于移動(dòng)的影響，于已知技術(shù)中已有通過(guò)不同技術(shù)手段達(dá)成誤差補(bǔ)償?shù)臋C(jī)制存在，其除有通過(guò)雷射干涉儀等技術(shù)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)路徑的校準(zhǔn)，降低或消弭誤差的發(fā)生程度外，亦有通過(guò)緩沖或變形技術(shù)，避免運(yùn)動(dòng)誤差發(fā)生時(shí)對(duì)于運(yùn)動(dòng)臺(tái)座所造成不當(dāng)力矩或消除其應(yīng)力。

具體地，如圖1所示已知技術(shù)所提供的龍門裝置1中，其于跨置于臺(tái)座2的橫梁3一側(cè)設(shè)置容許變形的撓性機(jī)構(gòu)4，據(jù)此，當(dāng)橫梁3兩端與臺(tái)座2間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生誤差時(shí)，撓性機(jī)構(gòu)4可容許同動(dòng)誤差下所造成橫梁3位置角度的變化，避免對(duì)橫梁3造成不當(dāng)?shù)膽?yīng)力；此等通過(guò)削減撓性機(jī)構(gòu)4自身剛性的技術(shù)手段所達(dá)成的變形容許功效，固可達(dá)成其預(yù)期的目的，但亦將因撓性機(jī)構(gòu)4的低剛性造成橫梁3在運(yùn)動(dòng)時(shí)的遲滯現(xiàn)象，尚非屬良善的設(shè)計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種高軸向剛性的撓性機(jī)構(gòu)及含有該撓性機(jī)構(gòu)的龍門裝置，其中，撓性機(jī)構(gòu)以之變形補(bǔ)償龍門橫梁位置的誤差，并使該撓性機(jī)構(gòu)在對(duì)應(yīng)于橫梁運(yùn)動(dòng)的一運(yùn)動(dòng)軸向上具有較高的剛性，避免因撓性機(jī)構(gòu)的剛性不足造成運(yùn)動(dòng)遲滯或重現(xiàn)誤差的缺失。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種撓性機(jī)構(gòu)，是以多數(shù)的可撓件提供變形，并使該些可撓件在對(duì)應(yīng)于該運(yùn)動(dòng)軸向上具有較高的剛性。

該些可撓件于該運(yùn)動(dòng)軸向上所具有的較高剛性，是指對(duì)應(yīng)位于該運(yùn)動(dòng)軸向上的可撓件剛性，高于該運(yùn)動(dòng)軸向以外的可撓件的剛性。

其中，用以使位于該運(yùn)動(dòng)軸向上的可撓件剛性提高的技術(shù)手段，可將具有相同剛性的該些可撓件，通過(guò)設(shè)置密度或角度上的改變，使其于不同的方向上具有不同的剛性，或亦可將具有不同剛性的相異可撓件，分別設(shè)置，以提高特定方向上的剛性。

于具體的技術(shù)內(nèi)容上，該撓性機(jī)構(gòu)包含有一第一結(jié)合件；一第二結(jié)合件，與該第一結(jié)合件相隔開(kāi)來(lái)，其彼此間并可于一第一軸向上相對(duì)位移；第一可撓件，位于第一軸向上而橋設(shè)于該第一結(jié)合件與該第二結(jié)合件之間，并可隨該第一結(jié)合件與該第二結(jié)合件間彼此間的相對(duì)位移而變形；以及一第二可撓件，位于非該第一軸向上而橋設(shè)于該第一結(jié)合件與該第二結(jié)合件之間。通過(guò)上述構(gòu)件的組合，使該第一可撓件的剛性大于該第二可撓件的剛性，用以提高該第一可撓件于該第一軸向上的抗變形能力。

其中，該第一結(jié)合件具有一開(kāi)口端，該第二結(jié)合件位于該第一結(jié)合件的開(kāi)口端中，并使該第一及第二可撓件介于該第一結(jié)合件的開(kāi)口端內(nèi)與該第二結(jié)合件間。

其中，該第一可撓件的設(shè)置密度大于該第二可撓件的設(shè)置密度。

其中，該第一及第二可撓件分別為板狀簧片。

其中，該第一結(jié)合件與該第二結(jié)合件彼此間還可于一第二軸向上相對(duì)位移，且使位于該第二軸向上的對(duì)應(yīng)第二可撓件的剛性，大于非位于該第二軸向上的對(duì)應(yīng)第二可撓件的剛性。

其中，該第一及第二可撓件分別具有不同厚度。