[發明專利]一種電解去溢料溶液及其制備方法

有效

• 申請號: 201610321319.3
• 申請日: 2016-05-16
• 公開（公告）號: CN106011993B
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 胡青華
• 申請（專利權）人: 昆山艾森半導體材料有限公司
• 主分類號: C25F1/00
• 分類號: C25F1/00;B29C37/02;H01L21/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電解去溢料溶液，其特征在于：包括異辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、無機鹽、有機鹽、有機堿以及去離子水，其各組分質量百分比為：異辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.2-1％、無機鹽10-20％、有機鹽1-5％、有機堿5-15％，其余為去離子水；所述無機鹽為硫酸鉀或硫酸鈉；所述有機堿為單乙醇胺、二乙醇胺或α-吡咯烷酮中的一種；所述有機鹽為檸檬酸鉀或氨基磺酸鉀。

2.關于權利要求1所述的電解去溢料溶液的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

①按配比將異辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯加入10倍質量的去離子水溶解，加熱至40℃，攪拌30min混合均勻

②按配比將無機鹽用足量去離子水溶解完全，再按配比加入有機鹽溶解完全，混合均勻；

③將以上兩溶液按1:1混合，然后按配比加入有機堿和余量水，攪拌1h，即可。