[發明專利]半導體裝置、檢查圖案配置方法以及半導體裝置的制造方法在審
| 申請號： | 201610304198.1 | 申請日： | 2016-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN106531721A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 山口浩之 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/48 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司72002 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 檢查 圖案 配置 方法 以及 制造 | ||
【說明書】：
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