[發(fā)明專利]多晶硅還原尾氣回收方法和回收系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610300902.6 | 申請日： | 2016-05-09 |
| 公開（公告）號： | CN107352510B | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王東;楊海軍;張杰;茍海龍;李國苑;俞振陽;馬永露 | 申請（專利權(quán)）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B3/56 | 分類號： | C01B3/56;C01B7/07;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 羅建民;鄧伯英 |
| 地址： | 830011 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市烏魯*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶 還原 尾氣 回收 方法 系統(tǒng) | ||
1.一種多晶硅還原尾氣回收方法，所述還原尾氣包括氫氣、氯化氫氣體和氣相氯硅烷，其特征在于，所述回收方法包括如下步驟：
在第一氣氣換熱器中利用氯化氫吸收塔塔頂輸出的不凝氣的冷量對所述還原尾氣進(jìn)行冷卻處理，并輸出冷卻后的還原尾氣；
在氯化氫吸收塔中利用塔頂自上而下的含有微量氯化氫的液相氯硅烷對第一氣氣換熱器冷卻后的還原尾氣進(jìn)行吸收處理，并從塔釜輸出富含氯化氫的液相氯硅烷，從塔頂輸出不凝氣；
在氯化氫解析塔中對氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷進(jìn)行解析處理，并從塔釜輸出含有微量氯化氫的液相氯硅烷；
在第一氯硅烷換熱器中利用氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷的冷量對氯化氫解析塔塔釜輸出的含有微量氯化氫的液相氯硅烷進(jìn)行冷卻處理，再將冷卻后含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂；
所述回收方法還包括：
在將第一氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂之前，在第三氯硅烷換熱器中利用來自低壓冷凝系統(tǒng)的冷量，對第一氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷再次進(jìn)行冷卻處理；
在第二氯硅烷換熱器中利用氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷的冷量對第三氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷再次進(jìn)行冷卻處理，并將依次經(jīng)過第一氯硅烷換熱器、第三氯硅烷換熱器和第二氯硅烷換熱器共計(jì)三次冷卻處理后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂；
或者，所述回收方法還包括：
在將第一氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂之前，在第三氯硅烷換熱器中利用來自低壓冷凝系統(tǒng)的冷量，對第一氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷再次進(jìn)行冷卻處理；
在第二氯硅烷換熱器中利用氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷的冷量對第三氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷再次進(jìn)行冷卻處理；
采用塔頂深冷器對第二氯硅烷換熱器冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷再次進(jìn)行冷卻處理，并輸出冷卻后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷，并將依次經(jīng)過第一氯硅烷換熱器、第三氯硅烷換熱器、第二氯硅烷換熱器、塔頂深冷器共計(jì)四次冷卻處理后的含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂；
其中，所述低壓冷凝系統(tǒng)將來自還原工序的高溫還原尾氣冷凝以實(shí)現(xiàn)氣液分離以得到液相氯硅烷和不可被冷凝的不凝氣，該不凝氣中含有氫氣、絕大部分氯化氫以及微量的氣相氯硅烷，然后將所述不凝氣升壓以使其滿足吸收塔的壓力條件后送入吸收塔，在吸收塔中采用來自塔頂?shù)穆然瘹浜繕O少且溫度為-30～-50℃的液相氯硅烷淋洗液對所述不凝氣進(jìn)行淋洗，從而將所述不凝氣中的氯化氫及微量的氯硅烷吸收，得到純度較高的氫氣并從吸收塔的塔頂輸出，同時(shí)從吸收塔塔釜輸出溫度為-30℃～-20℃的富含氯化氫的液相氯硅烷；將冷量已被第三氯硅烷換熱器利用的來自低壓冷凝系統(tǒng)的富含氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫解析塔，由氯化氫解析塔進(jìn)行解析處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法還包括：
在第二氣氣換熱器中利用氯化氫吸收塔塔頂輸出的一部分不凝氣的冷量對第一氣氣換熱器冷卻后的還原尾氣再次進(jìn)行冷卻處理，再將氯化氫吸收塔塔頂輸出的另一部分不凝氣的冷量與所述一部分不凝氣被利用后的剩余冷量混合，然后在第一氣氣換熱器中利用該混合后的冷量對所述還原尾氣進(jìn)行冷卻處理，并輸出所述冷卻后的還原尾氣，最后將依次經(jīng)過第一氣氣換熱器、第二氣氣換熱器共計(jì)兩次冷卻處理后的還原尾氣送入氯化氫吸收塔；
或者，
在第二氣氣換熱器中利用氯化氫吸收塔塔頂輸出的不凝氣的冷量對第一氣氣換熱器冷卻后的還原尾氣再次進(jìn)行冷卻處理，并將依次經(jīng)過第一氣氣換熱器、第二氣氣換熱器共計(jì)兩次冷卻處理后的還原尾氣送入氯化氫吸收塔。
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