[發(fā)明專利]一種用于觀察三維原子探針試樣的透射電鏡樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610299098.4
• 申請日: 2016-05-07
• 公開（公告）號: CN105810543B
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉吉梓;沙剛
• 申請（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心32203
• 代理人: 鄒偉紅

1.一種用于觀察三維原子探針試樣的透射電鏡樣品臺，其特征在于，透射電鏡樣品臺包括：

一樣品桿主體(1)，其一端開有槽口，槽口的底部于樣品桿主體(1)軸心處設(shè)有圓弧形底槽，該圓弧形底槽的槽口處設(shè)置為矩形臺階，且在圓弧形底槽的末端處設(shè)有階梯形通孔；

一使透射電鏡樣品臺±75°旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)軌(5)，所述的導(dǎo)軌(5)連接樣品桿主體(1)的開槽端；

以及用于夾持試樣的壓緊部分，所述的壓緊部分包括壓塊(3)及用于壓緊壓塊(3)的偏心輪(2)，壓塊(3)上對稱樣品桿主體(1)底槽開有形狀相同的圓弧形槽體，且該壓塊(3)的導(dǎo)位凸臺設(shè)置在階梯形通孔內(nèi)；

此外，還包括一被導(dǎo)位凸臺穿過自動復(fù)位裝置(4)，自動復(fù)位裝置(4)為彈簧。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，樣品桿主體(1)一端開的槽口為長12～14mm、寬2～3mm、深度為12～14mm的槽口；樣品桿主體(1)的圓弧形底槽及與其對稱的壓塊(3)上的圓弧形槽體均為：半徑在0.7～0.8mm之間，槽長在8～10mm之間，矩形臺階的高度在0.1～0.5mm之間，臺階寬度在1.5～2.0mm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的壓塊(3)長在12～14mm之間，寬在2～3mm之間，厚度在0.8～1.2mm之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的壓塊(3)上的導(dǎo)位凸臺由上下兩層凸臺組成，兩層凸臺直徑分別在1.8～2.2mm和1.3～1.7mm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的偏心輪(2)通過銷軸固定在樣品桿主體(1)，偏心輪(2)采用對壓塊(3)施加的力應(yīng)小于5N的偏心輪，半徑在0.5～2mm之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的偏心輪(2)寬度在2～3mm之間，總長在5～6mm之間，前端柄厚度在1～1.5mm之間，柄前端到銷軸孔中心的距離在4.5～6mm之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的偏心輪(2)通過撥針活動，偏心輪前端柄上設(shè)有直徑為0.5mm，深度為2～4mm的圓柱形小孔為撥針插入位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的彈簧外徑在2～3mm之間，中徑在2～2.5mm之間，彈簧長度在2～5mm之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，透射電鏡樣品臺上的導(dǎo)軌(5)設(shè)置為兩根，兩根導(dǎo)軌(5)之間的外沿距離在3.5～5.0mm之間，導(dǎo)軌(5)的寬度在0.8～1.2mm之間，高度在0.8～1.2mm之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透射電鏡樣品臺，其特征在于，所述的導(dǎo)軌(5)是過盈配合安裝在樣品桿主體(1)上，且在導(dǎo)軌(5)前端刻有納米針尖試樣定位標(biāo)記。