[發(fā)明專利]曝光裝置、移動(dòng)體裝置、平板顯示器的制造方法、及元件制造方法有效

申請?zhí)枺?/td>	201610289122.6	申請日：	2011-09-05
公開（公告）號：	CN105842994B	公開（公告）日：	2019-06-21
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	青木保夫	申請（專利權(quán)）人：	株式會(huì)社尼康
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20;B65G49/06
代理公司：	北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127	代理人：	任默聞
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	曝光裝置移動(dòng) 平板顯示器制造方法元件
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