[發(fā)明專利]曝光裝置、移動(dòng)體裝置、平板顯示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610289122.6 | 申請日： | 2011-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN105842994B | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 青木保夫 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會(huì)社尼康 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默聞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 曝光 裝置 移動(dòng) 平板 顯示器 制造 方法 元件 | ||
【權(quán)利要求書】：
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G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 移動(dòng)臺(tái),基站,移動(dòng)通信系統(tǒng),移動(dòng)通信與移動(dòng)通信程序
- 移動(dòng)通信系統(tǒng)、移動(dòng)終端以及移動(dòng)通信方法
- 移動(dòng)支付裝置、移動(dòng)終端POS以及移動(dòng)終端
- 移動(dòng)控制裝置、移動(dòng)體、移動(dòng)體系統(tǒng)、移動(dòng)控制方法及程序
- 移動(dòng)終端后蓋、移動(dòng)終端殼體及移動(dòng)終端
- 移動(dòng)平臺(tái)的輔助移動(dòng)方法、移動(dòng)裝置及移動(dòng)平臺(tái)
- 自移動(dòng)設(shè)備移動(dòng)方法及自移動(dòng)設(shè)備
- 移動(dòng)輪（支撐移動(dòng)）
- 移動(dòng)房屋（移動(dòng)酒店）
- 移動(dòng)控制方法、移動(dòng)裝置及移動(dòng)平臺(tái)
