[發(fā)明專利]系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼平行縫焊用夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610287857.5 | 申請日: | 2016-05-04 |
| 公開(公告)號: | CN105789097B | 公開(公告)日: | 2019-03-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 彭博;張倩;張旭;楊振濤;于斐 | 申請(專利權(quán))人: | 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120 | 代理人: | 黃輝本 |
| 地址: | 050051 *** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 系統(tǒng) 封裝 陶瓷 陣列 外殼 平行 縫焊用 夾具 | ||
本發(fā)明公開了一種系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼平行縫焊用夾具,涉及陶瓷封裝外殼技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括夾具基體,夾具基體上設(shè)有用于插接放置陶瓷外殼時(shí),使陶瓷外殼上的所有引線穿入的引線孔,還設(shè)有與平行縫焊機(jī)工作臺定位的定位孔。將外殼插裝在縫焊夾具中,實(shí)現(xiàn)良好接觸,在縫焊過程中,可利用縫焊夾具固定外殼并及時(shí)散熱,有效避免縫焊時(shí)熱應(yīng)力直接作用在陶瓷側(cè)壁,發(fā)生瓷裂漏氣問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及陶瓷封裝外殼技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼平行縫焊用夾具。
背景技術(shù)
系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼具有優(yōu)越的承載能力,方便集成多種混合集成電路,廣泛應(yīng)用于航空、航天等軍事裝備控制系統(tǒng)。該類產(chǎn)品具有形腔比小、薄壁、深腔等特點(diǎn),常用的封口方式為平行縫焊。
平行縫焊是為了適應(yīng)雙列直插式集成電路金屬管殼封裝而發(fā)展起來的一種微電子器件封裝技術(shù),這種氣密性封裝工藝與其他熔封工藝相比,主要的優(yōu)點(diǎn)是封裝管殼局部高溫。
平行縫焊屬于電阻熔焊,當(dāng)兩個(gè)圓錐形滾輪電極施加在蓋板兩條對邊邊緣上,脈沖焊接電流從一個(gè)電極通過蓋板和焊框,再從另一個(gè)電極回到焊接電源形成回路。由于電極與蓋板及蓋板與焊框之間存在接觸電阻,焊接電流將在這兩個(gè)接觸電阻處產(chǎn)生焦耳能量。結(jié)果使蓋板與焊框之間局部形成熔融狀態(tài),凝固后形成一個(gè)焊點(diǎn)。在焊接過程中,焊接電流是脈沖式的,每一個(gè)脈沖電流可以形成一個(gè)焊點(diǎn),由于外殼作直線運(yùn)動,電極在蓋板上滾動,因此,外殼蓋板的兩個(gè)邊形成兩條平行的由彼此重疊的焊點(diǎn)組成的連續(xù)焊縫。
平行縫焊過程中瞬間產(chǎn)生的高熱量會對陶瓷外殼造成熱沖擊,在后續(xù)可靠性試驗(yàn)時(shí),由于殘留應(yīng)力經(jīng)可靠性試驗(yàn)后得以累加并最終釋放而導(dǎo)致結(jié)合強(qiáng)度降低,最后出現(xiàn)分層或開裂而漏氣。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼平行縫焊用夾具,將外殼插裝在縫焊夾具中,實(shí)現(xiàn)良好接觸,在縫焊過程中,可利用縫焊夾具固定外殼并及時(shí)散熱,有效避免縫焊時(shí)熱應(yīng)力直接作用在陶瓷側(cè)壁,發(fā)生瓷裂漏氣問題。
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:一種系統(tǒng)級封裝用陶瓷針柵陣列外殼平行縫焊用夾具,包括夾具基體,夾具基體上設(shè)有用于插接放置陶瓷外殼時(shí),使陶瓷外殼上的所有引線穿入的引線孔,還設(shè)有與平行縫焊機(jī)工作臺定位的定位孔。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,在夾具基體的四周均布有若干限位孔,用于連接限位擋板。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,在夾具基體的中間還設(shè)有沉槽,該沉槽的寬度和深度與背面帶凸臺熱沉或雙面立體式系統(tǒng)集成封裝類外殼上的凸臺適配。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,所述的引線孔的孔中心距為1.27mm或2.54mm。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,所述的引線孔的排布方式為交錯(cuò)排列的網(wǎng)格方式或陣列排列的網(wǎng)格方式。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,夾具基體的材質(zhì)為鋁合金。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,夾具基體的外形長寬尺寸≤150.00mm×150.00mm,夾具基體的高度≤20.00mm。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,夾具基體上下兩平面的平行度為0.05mm。
進(jìn)一步優(yōu)選的技術(shù)方案,夾具基體下平面的平行度為0.05mm。
采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
(1)兼容性強(qiáng),類似結(jié)構(gòu)產(chǎn)品可共用夾具;
(2)滿足縫焊散熱要求,陶瓷外殼結(jié)構(gòu)直接與鋁合金夾具接觸,熱量直接經(jīng)陶瓷外殼傳遞到夾具上,避免了以前僅由針引線散熱不足的情況;
(3)具有限位和定位功能,便于使用,有利于批量產(chǎn)品加工;
(4)采用鋁合金材料,易于加工;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





