[發(fā)明專利]發(fā)光均勻度校正設(shè)備及其校正方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610268793.4
• 申請日: 2016-04-27
• 公開（公告）號: CN107315319A
• 公開（公告）日: 2017-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鴻明
• 申請（專利權(quán)）人: 川寶科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市浩天知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11276
• 代理人: 劉云貴,王東

1.一種發(fā)光均勻度校正設(shè)備，適用于對曝光機(jī)的一發(fā)光模塊進(jìn)行發(fā)光均勻度校正，且該發(fā)光模塊具有多個(gè)發(fā)光單元以產(chǎn)生一面光源，其特征在于，該發(fā)光均勻度校正設(shè)備包含：

一感測模塊，與該發(fā)光模塊的發(fā)光面相對設(shè)置，并于對應(yīng)該發(fā)光面的多個(gè)取樣位置上對該發(fā)光面進(jìn)行光強(qiáng)度感測，且根據(jù)于各該取樣位置所感測的光線的強(qiáng)度而分別產(chǎn)生對應(yīng)的一光強(qiáng)度訊號；

一移動模塊，根據(jù)一取樣位置信息訊號，使該感測模塊與該發(fā)光模塊的間產(chǎn)生相對位移以于各該取樣位置間進(jìn)行移動；

一處理模塊，與該感測模塊及該移動模塊相耦接，并輸出該取樣位置信息訊號且接收該感測模塊于各該取樣位置所產(chǎn)生的光強(qiáng)度訊號，并于該發(fā)光面的發(fā)光均勻度不符合一均勻度標(biāo)準(zhǔn)時(shí)產(chǎn)生對應(yīng)的一校正訊號；及

一調(diào)整模塊，與該處理模塊及該發(fā)光模塊相耦接，根據(jù)該校正訊號對應(yīng)地調(diào)整這些發(fā)光單元中的至少一者的發(fā)光強(qiáng)度。

2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備，其中該調(diào)整模塊系根據(jù)該校正訊號分別調(diào)整對這些發(fā)光單元中的至少一者的供電量，以分別改變被調(diào)整的各該發(fā)光單元的發(fā)光強(qiáng)度。

3.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備，其特征在于，該處理模塊取得該面光源上具有異常光強(qiáng)度的區(qū)塊的一異常坐標(biāo)位置信息及一異常光強(qiáng)度信息，并將該異常坐標(biāo)位置信息及該異常光強(qiáng)度信息搭載于該校正訊號來輸出。

4.如權(quán)利要求3所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備，其特征在于，該調(diào)整模塊根據(jù)該異常坐標(biāo)位置信息來定位出發(fā)光異常的發(fā)光單元，并根據(jù)該異常光強(qiáng)度信息來調(diào)整被定位的發(fā)光單元的發(fā)光強(qiáng)度。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備，其特征在于，該感測模塊為光電轉(zhuǎn)換器。

6.如權(quán)利要求5所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備，其特征在于，該光電轉(zhuǎn)換器具有光電二極管。

7.一種發(fā)光均勻度校正方法，使用如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的發(fā)光均勻度校正設(shè)備來對曝光機(jī)的發(fā)光模塊進(jìn)行發(fā)光均勻度校正，其特征在于，該發(fā)光均勻度校正方法包含：

S10：分辨率設(shè)定步驟，設(shè)定該曝光機(jī)的發(fā)光模塊的多個(gè)取樣位置的數(shù)量及坐標(biāo)；

S12：光強(qiáng)度感測步驟，分別于這些取樣位置上對該曝光機(jī)的發(fā)光模塊的發(fā)光面進(jìn)行光強(qiáng)度感測；

S14：均勻度分析步驟，根據(jù)各該取樣位置的光強(qiáng)度進(jìn)行分析并判斷各該取樣位置的光強(qiáng)度是否符合該均勻度標(biāo)準(zhǔn)，若不符合進(jìn)入步驟S16，若符合則結(jié)束該校正方法；及

S16：均勻度校正步驟，根據(jù)光強(qiáng)度異常的取樣位置取得對應(yīng)該取樣位置的發(fā)光單元，并對該發(fā)光單元的發(fā)光強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)整。

8.如權(quán)利要求7中所述的發(fā)光均勻度校正方法，其特征在于，步驟S16后還包含：

S18：均勻度確保步驟，再次分別于這些取樣位置上對該發(fā)光面進(jìn)行光強(qiáng)度感測，并判斷各該取樣位置的光強(qiáng)度是否符合該均勻度標(biāo)準(zhǔn)，若不符合進(jìn)入步驟S16，若符合則結(jié)束該校正方法。