[發明專利]晶片頻率測試裝置

在審

• 申請號: 201610266631.7
• 申請日: 2016-04-26
• 公開（公告）號: CN105675120A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 陳仲濤;彭勝春;陽皓;楊莉;周哲;許衛群;唐平;陳映梅;劉春蓉;王潔;劉祖琴
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二十六研究所
• 主分類號: G01H13/00
• 分類號: G01H13/00
• 代理公司: 重慶信航知識產權代理有限公司 50218
• 代理人: 江濤

1.一種晶片頻率測試裝置，其特征在于，包括金屬探頭、金屬臺面、固 定架和頻率測試儀器，其中所述金屬探頭的頂端通過彈性組件連接所述固定 架，底端設置有與所述金屬臺面平行的金屬片；

所述頻率測試儀器用于向所述金屬臺面和所述金屬片之間依次施加不同 頻率的交流電源，并在所述不同頻率的交流電源下，對置于所述金屬片與所 述金屬臺面之間的晶片的振幅進行測量，從而形成所述晶片的幅頻曲線，以 根據所述幅頻曲線確定所述晶片的諧振頻率。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述幅頻曲線中幅值最高 點對應的頻率即為所述晶片的諧振頻率。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述金屬片的面積隨著所 述晶片的預期諧振頻率、機電耦合系數的增大而減小，隨著所述晶片尺寸的 減小而減小且所述金屬片面積小于所述晶片的面積。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述金屬探頭采用螺紋連 接的方式固定在所述固定架中。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述頻率測試儀器的測量 端與所述彈性組件、所述金屬探頭和所述金屬片中任意一個進行連接，以對 置于所述金屬片與所述金屬臺面之間的晶片的振幅進行測量。

6.根據權利要求1或5所述的裝置，其特征在于，所述頻率測試儀器用 于在所述不同頻率的交流電源下，對置于所述金屬片與所述金屬臺面之間的 晶片的居中區域的振幅進行測量。