[發明專利]雙氨基烷氧基硅烷化合物和使用其沉積含硅膜的方法有效
| 申請號： | 201610256473.7 | 申請日： | 2016-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN105906660B | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | D·P·斯潘斯;雷新建;R·M·佩爾斯泰恩;蕭滿超;李建恒 | 申請（專利權）人： | 弗薩姆材料美國有限責任公司 |
| 主分類號： | C07F7/18 | 分類號： | C07F7/18;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/36;C23C16/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 吳亦華;徐志明 |
| 地址： | 美國亞*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氨基 烷氧基 硅烷 化合物 使用 沉積 含硅膜 方法 | ||
【說明書】：
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