[發(fā)明專(zhuān)利]雙氨基烷氧基硅烷化合物和使用其沉積含硅膜的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610256473.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-02-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105906660B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | D·P·斯潘斯;雷新建;R·M·佩爾斯泰恩;蕭滿超;李建恒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 弗薩姆材料美國(guó)有限責(zé)任公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C07F7/18 | 分類(lèi)號(hào)： | C07F7/18;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/36;C23C16/34 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 吳亦華;徐志明 |
| 地址： | 美國(guó)亞*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氨基 烷氧基 硅烷 化合物 使用 沉積 含硅膜 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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