[發(fā)明專利]一種集成電路基板清洗設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610255859.6
• 申請(qǐng)日: 2016-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN107305854B
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 初振明;王希;程成;王暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 施浩

1.一種集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，包括清洗腔(100)、擺臂裝置(200)和易燃液體供液系統(tǒng)(300)，清洗腔(100)內(nèi)設(shè)有載盤(101)和與載盤(101)垂直固定的支撐軸(102)，支撐軸(102)由驅(qū)動(dòng)裝置(103)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；擺臂裝置(200)包括底座(201)、液體管，液體管包括豎直管體(205)和水平管體(206)，豎直管體(205)垂直固定在底座(201)上，水平管體(206)上設(shè)有液體噴頭(207)，液體噴頭(207)面向載盤(101)，液體管與易燃液體供液系統(tǒng)(300)連通供液，液體管的外壁纏繞有加熱套(208)，加熱套(208)內(nèi)灌有為易燃液體加熱的熱介質(zhì)，以水浴加熱的方式將熱量傳遞給液體管內(nèi)的易燃液體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，擺臂裝置(200)還包括與液體管平行的氣體管(209)，氣體管(209)包括水平管和豎直管，豎直管垂直固定在底座(201)上并與外部供氣裝置相連，水平管上設(shè)有氣體噴頭，氣體噴頭面向載盤(101)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，加熱套(208)設(shè)有監(jiān)測(cè)熱介質(zhì)溫度的第一溫度傳感器、進(jìn)水口和出水口，第一溫度傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)熱介質(zhì)的溫度，進(jìn)水口和出水口分別與外部加熱裝置(400)相連為易燃液體循環(huán)供應(yīng)熱介質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，擺臂裝置(200)還包括第一驅(qū)動(dòng)和第二驅(qū)動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)擺臂裝置(200)以豎直管體(205)為軸作圓弧運(yùn)動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)擺臂裝置(200)作上下運(yùn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，擺臂裝置(200)在非工作狀態(tài)下液體噴頭(207)距載盤(101)的垂直高度為15cm，擺臂裝置(200)在第二驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)下作上下運(yùn)動(dòng)的范圍為50mm內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，擺臂裝置(200)在第一驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)下左右擺動(dòng)的范圍以載盤(101)邊緣為界。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，加熱套(208)內(nèi)的熱介質(zhì)是水或油。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，擺臂裝置(200)還包括監(jiān)測(cè)液體噴頭(207)處液體溫度的第二溫度傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，清洗腔(100)的四周有一圈防濺罩(104)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，防濺罩(104)可升降。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，液體管為PFA材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，載盤(101)在驅(qū)動(dòng)裝置(103)驅(qū)動(dòng)下的轉(zhuǎn)速為10～3000r/s。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路基板清洗設(shè)備，其特征在于，集成電路基板清洗設(shè)備還包括火焰探測(cè)器和滅火器。