[發(fā)明專利]一種透射電子顯微鏡用雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610237949.2 | 申請日: | 2016-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN105758876B | 公開(公告)日: | 2018-07-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 韓曉東;張劍飛;毛圣成;翟亞迪;王曉冬;李志鵬;栗曉辰;張韜楠;馬東鋒;張澤 | 申請(專利權(quán))人: | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號: | G01N23/04 | 分類號: | G01N23/04 |
| 代理公司: | 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203 | 代理人: | 劉萍 |
| 地址: | 100124 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 透射 電子顯微鏡 用雙軸傾轉(zhuǎn) 樣品 | ||
1.一種透射電子顯微鏡用雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿,其特征在于包括樣品桿桿身主體、前端傾轉(zhuǎn)臺、驅(qū)動桿、連桿、傾轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動桿固定軸和樣品載臺;樣品桿桿身分為三個部分,后端放置直線電機,中段及前端分別為中空圓柱體;
傾轉(zhuǎn)臺整體為左右對稱結(jié)構(gòu),為U型結(jié)構(gòu)和凸臺的組合,所述凸臺為左右對稱結(jié)構(gòu),包括水平部分和與水平部分成θ角的傾斜部分,θ角為30-45度;在傾斜部分末端設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸軸孔;凸臺水平部分一端開有凸臺卡槽,且中間開有便于電子束透過的通孔;凸臺的水平部分嵌在U形結(jié)構(gòu)之間,連桿一端為驅(qū)動桿固定軸,另一端為旋轉(zhuǎn)軸,通過旋轉(zhuǎn)軸和連桿讓凸臺卡槽和驅(qū)動桿卡槽相連接;樣品桿桿身前端開有對應(yīng)的傾轉(zhuǎn)軸連接孔,前端傾轉(zhuǎn)臺開有與傾轉(zhuǎn)軸配合的連接孔,樣品桿桿身前端兩側(cè)位置設(shè)計對稱的兩個貫通的運動導(dǎo)槽,運動導(dǎo)槽內(nèi)設(shè)有驅(qū)動桿固定軸來固定驅(qū)動桿,約束驅(qū)動桿在直線步進電機驅(qū)動下,進行前后往復(fù)式直線運動,進而使傾轉(zhuǎn)臺繞傾轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。
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