[發(fā)明專利]一種顯示基板及其制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610232507.9 | 申請日: | 2016-04-14 |
| 公開(公告)號: | CN105789118B | 公開(公告)日: | 2019-03-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 關(guān)峰;曹占鋒;姚琪 | 申請(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/77 | 分類號: | H01L21/77;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;黃燦 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 顯示 及其 制作方法 | ||
1.一種顯示基板的制作方法,其特征在于,包括:
提供基板和金屬線柵偏振器WGP壓印模板,所述基板上具有處于非像素區(qū)的對位標(biāo)記,所述基板的顯示區(qū)域的尺寸大于所述WGP壓印模板的尺寸;
在所述基板上形成金屬膜層;
通過識別所述對位標(biāo)記,利用所述WGP壓印模板在所述金屬膜層上形成多個(gè)光柵區(qū),其中,所述WGP壓印模板的一次壓印形成一個(gè)所述光柵區(qū),相鄰的光柵區(qū)的拼接位置位于非像素區(qū);
其中,所述光柵區(qū)包括多個(gè)間隔設(shè)置的光柵單元,以及與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的第一對位標(biāo)記和/或第二對位標(biāo)記,所述制作方法還包括:
通過識別所述第一對位標(biāo)記,在所述基板的與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的區(qū)域上形成像素電極,形成具有所述光柵區(qū)的陣列基板;
或者,
通過識別所述第二對位標(biāo)記,在所述基板的與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的區(qū)域上形成彩色濾光層的圖形,形成具有所述光柵區(qū)的彩膜基板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,當(dāng)利用多個(gè)所述WGP壓印模板同時(shí)在所述金屬膜層上形成光柵區(qū)時(shí),所述WGP壓印模板之間的拼接縫的位置與所述非像素區(qū)的位置對應(yīng),且寬度小于或等于對應(yīng)的非像素區(qū)的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,第一對位標(biāo)記用于限定柵線所在的區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述第二對位標(biāo)記用于限定所述彩色濾光層的圖形之間的區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制作方法,其特征在于,所述光柵單元之間設(shè)置有黑矩陣,所述黑矩陣和所述光柵單元同層同材料設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述利用所述WGP壓印模板在所述金屬膜層上形成多個(gè)光柵區(qū)的步驟包括:
在所述金屬膜層上形成光刻膠;
采用所述WGP壓印模板對所述光刻膠進(jìn)行壓印,形成光柵結(jié)構(gòu)的光刻膠圖形;
采用干刻工藝對未被所述光刻膠覆蓋的金屬膜層進(jìn)行刻蝕,形成所述多個(gè)光柵區(qū)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述金屬膜層為鋁金屬膜層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述鋁金屬膜層的厚度為50-400nm。
9.一種顯示基板,其特征在于,所述顯示基板包括:
基板,所述基板上具有處于非像素區(qū)的對位標(biāo)記;
由金屬膜層形成的光柵結(jié)構(gòu),所述光柵結(jié)構(gòu)具有多個(gè)光柵區(qū);
其中,所述光柵區(qū)是通過識別所述對位標(biāo)記,利用WGP壓印模板在所述金屬膜層上形成,所述WGP壓印模板的一次壓印形成一個(gè)所述光柵區(qū),相鄰的光柵區(qū)的拼接位置位于非像素區(qū);
所述光柵區(qū)包括多個(gè)間隔設(shè)置的光柵單元,以及與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的第一對位標(biāo)記和/或第二對位標(biāo)記,所述顯示基板還包括:
像素電極,所述像素電極是通過識別所述第一對位標(biāo)記,在所述基板的與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的區(qū)域上形成;
或者,
彩色濾光層,所述彩色濾光層的圖形是通過識別所述第二對位標(biāo)記,在所述基板的與每個(gè)所述光柵單元對應(yīng)的區(qū)域上形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顯示基板,其特征在于,所述光柵單元之間設(shè)置有黑矩陣,所述黑矩陣和所述光柵單元同層同材料設(shè)置。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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