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[發明專利]一種表面電阻測試探頭及其測試裝置及表面電阻測試方法有效

專利信息
申請號: 201610228925.0 申請日: 2016-04-14
公開(公告)號: CN105866548B 公開(公告)日: 2018-11-09
發明(設計)人: 李薦;黃祖瓊;周宏明;王利華 申請(專利權)人: 中南大學
主分類號: G01R27/08 分類號: G01R27/08
代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114 代理人: 鄧建輝
地址: 410083 湖南*** 國省代碼: 湖南;43
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 表面電阻 測試 探頭 及其 裝置 方法
【說明書】:
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