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[發(fā)明專利]一種表面電阻測(cè)試探頭及其測(cè)試裝置及表面電阻測(cè)試方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201610228925.0 申請(qǐng)日: 2016-04-14
公開(公告)號(hào): CN105866548B 公開(公告)日: 2018-11-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李薦;黃祖瓊;周宏明;王利華 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 中南大學(xué)
主分類號(hào): G01R27/08 分類號(hào): G01R27/08
代理公司: 長(zhǎng)沙市融智專利事務(wù)所 43114 代理人: 鄧建輝
地址: 410083 湖南*** 國(guó)省代碼: 湖南;43
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 表面電阻 測(cè)試 探頭 及其 裝置 方法
【權(quán)利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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