[發明專利]一種在Cu薄膜體系中生成Cu三角晶體的方法有效
| 申請號： | 201610225663.2 | 申請日： | 2016-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN105862007B | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發明（設計）人： | 林啟敬;蔣莊德;王琛英;楊樹明;趙娜;伍子榮 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | C23C14/58 | 分類號： | C23C14/58;C23C14/14 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 cu 薄膜 體系 生成 三角 晶體 方法 | ||
【權利要求書】：
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