[發明專利]一種一體式晶圓出貨影像留存設備

有效

• 申請號: 201610225525.4
• 申請日: 2016-04-11
• 公開（公告）號: CN105679697B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 沈順金;王印璽;鄭李
• 申請（專利權）人: 安徽晶新微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 王林

1.一種一體式晶圓出貨影像留存設備，其特征在于，包括靜電操作臺、金屬擋板、攝像設備、靜電紙和放置區域；所述金屬擋板有三塊，分別沿靜電操作臺的工作面的三條邊垂直向上設置，所述攝像設備分別設置在各個金屬擋板的頂部，所述放置區域凸起設置在靜電操作臺的工作面上，所述靜電紙設置于所述放置區域內,所述設備還包括計算機、顯示設備和掃碼設備，所述攝像設備連接計算機，計算機和顯示設備相連，掃碼設備連接計算機。

2.根據權利要求1所述的一種一體式晶圓出貨影像留存設備，其特征在于，所述靜電操作臺上設有多個防塵孔。

3.根據權利要求1所述的一種一體式晶圓出貨影像留存設備，其特征在于，所述靜電操作臺之下設有防靜電桌腿。

4.根據權利要求1所述的一種一體式晶圓出貨影像留存設備，其特征在于，所述靜電操作臺設置接地鏈。