[發(fā)明專利]一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法

有效

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• 申請日: 2016-04-11
• 公開（公告）號: CN105671501B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖世文
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C24/04;C23C4/12
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明公開了一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，用于解決廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再噴涂的技術(shù)問題，包括以下步驟：廢舊旋轉(zhuǎn)靶材的包裝回收；旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷檢查；旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷加工；確定旋轉(zhuǎn)靶材余量；根據(jù)確定的旋轉(zhuǎn)靶材余量進(jìn)行噴涂修復(fù)。本發(fā)明的有益效果在于，回收廢舊旋轉(zhuǎn)靶材重新修復(fù)，省略了基管加工、噴砂、噴中間層等前期工序，節(jié)約了成本，實現(xiàn)了靶材循環(huán)使用；解決了缺陷靶材的修復(fù)難題，不必整管報廢，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)靶材領(lǐng)域，尤其涉及一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法。

背景技術(shù)

旋轉(zhuǎn)靶材產(chǎn)品利用率一般在70％左右。靶材在生產(chǎn)和使用過程中，因生產(chǎn)工藝問題、用戶使用參數(shù)設(shè)置問題或人為的操作不當(dāng)會產(chǎn)生裂紋，導(dǎo)致靶材報廢。

然而，目前報廢的旋轉(zhuǎn)靶材的處理一般是整管報廢，回收之后將旋轉(zhuǎn)靶材分解為原材料，這樣成本高，生產(chǎn)效率也低。

發(fā)明內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)靶材的循環(huán)使用，本發(fā)明提出一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法。

本發(fā)明一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，包括以下步驟：

S1：廢舊旋轉(zhuǎn)靶材的包裝回收；

S2：旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷檢查；

S3：旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷加工；

S4：確定旋轉(zhuǎn)靶材余量；

S5：根據(jù)步驟S4中確定的旋轉(zhuǎn)靶材余量進(jìn)行噴涂修復(fù)。

進(jìn)一步地，步驟S2所述的缺陷檢查，其方法包括但不僅限于：目測檢測、金相檢測和無損探傷，其中目測檢測用于檢查大型裂紋和氧化變色缺陷，金相檢測用于檢測晶粒尺寸的缺陷，無損探傷用于檢測微小裂紋缺陷。

進(jìn)一步地，步驟S3所述旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷加工包括以下加工方法的一種或其組合：采用機(jī)械加工方法取出氧化部分；對于平緩的凹坑和寬度較小的裂紋可不作處理或手工打磨后噴涂修復(fù)；對于較深的凹坑和裂紋，先機(jī)械加工切削成較為平緩的凹坑和裂紋后再噴涂修復(fù)。

更進(jìn)一步地，對于所述較深的凹坑和寬度較大的裂紋，經(jīng)機(jī)械加工切削后的凹坑和裂紋，其坡度小于70度。

進(jìn)一步地，步驟S4中所述確定旋轉(zhuǎn)靶材余量，包括以下步驟：

S41：將旋轉(zhuǎn)靶材固定在噴涂架上，將光學(xué)測距模塊相對旋轉(zhuǎn)靶材安裝在行走機(jī)構(gòu)上；

S42：勻速旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)靶材，光學(xué)測距模塊自左往右勻速水平運動；

S43：記錄不同時間點旋轉(zhuǎn)靶材表面到探測器的距離；

S44：換算出相對位置的旋轉(zhuǎn)靶材厚度。

進(jìn)一步地，步驟S5采用熱噴涂或冷噴涂的方法進(jìn)行噴涂修復(fù)。

進(jìn)一步地，步驟S5中噴涂量的調(diào)整通過調(diào)整以下參數(shù)或其組合來進(jìn)行：噴涂時間、噴槍功率、送粉量和惰性氣體噴氣量。

進(jìn)一步地，本發(fā)明廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法還包括步驟：

S6：修復(fù)后的旋轉(zhuǎn)靶材的包裝。

本發(fā)明的有益效果在于，回收廢舊旋轉(zhuǎn)靶材重新修復(fù)，省略了基管加工、噴砂、噴中間層等前期工序，節(jié)約了成本，實現(xiàn)了靶材循環(huán)使用；解決了缺陷靶材的修復(fù)難題，不必整管報廢，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明方法流程圖；

圖2是本發(fā)明步驟S3中機(jī)械加工切削前的陡坡示意圖；

圖3是圖2中的陡坡經(jīng)機(jī)械加工切削后的緩坡示意圖；