[發(fā)明專利]一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610220120.1
• 申請(qǐng)日: 2016-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN105671501B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖世文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C24/04;C23C4/12
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：廢舊旋轉(zhuǎn)靶材的包裝回收；

S2：旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷檢查；

S3：旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷加工；

S4：確定旋轉(zhuǎn)靶材余量；其中，步驟S4中所述確定旋轉(zhuǎn)靶材余量，包括以下步驟：

S41：將旋轉(zhuǎn)靶材固定在噴涂架上，將光學(xué)測(cè)距模塊相對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材安裝在行走機(jī)構(gòu)上；

S42：勻速旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)靶材，光學(xué)測(cè)距模塊自左往右勻速水平運(yùn)動(dòng)；

S43：記錄不同時(shí)間點(diǎn)旋轉(zhuǎn)靶材表面到探測(cè)器的距離，建立旋轉(zhuǎn)靶材坐標(biāo)和厚度坐標(biāo)系；

S44：通過所述旋轉(zhuǎn)靶材坐標(biāo)和厚度坐標(biāo)系換算出相對(duì)位置的旋轉(zhuǎn)靶材厚度；

S5：根據(jù)步驟S4中確定的旋轉(zhuǎn)靶材余量進(jìn)行噴涂修復(fù)。

2.如權(quán)利要求1所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，步驟S2所述的缺陷檢查，其方法包括但不僅限于：目測(cè)檢測(cè)、金相檢測(cè)和無(wú)損探傷，其中目測(cè)檢測(cè)用于檢查大型裂紋和氧化變色缺陷，金相檢測(cè)用于檢測(cè)晶粒尺寸的缺陷，無(wú)損探傷用于檢測(cè)微小裂紋缺陷。

3.如權(quán)利要求1所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，步驟S3所述旋轉(zhuǎn)靶材的缺陷加工包括以下修復(fù)方法的一種或其組合：采用機(jī)械加工方法取出氧化部分；對(duì)于平緩的凹坑和寬度較小的裂紋可不作處理或手工打磨后噴涂修復(fù)；對(duì)于較深的凹坑和寬度較大的裂紋，先機(jī)械加工切削成較為平緩的凹坑和裂紋后再噴涂修復(fù)。

4.如權(quán)利要求3所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，對(duì)于所述較深的凹坑和寬度較大的裂紋，經(jīng)機(jī)械加工切削后的凹坑和裂紋，其坡度小于70度。

5.如權(quán)利要求1或4所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，步驟S5采用熱噴涂或冷噴涂的方法進(jìn)行噴涂修復(fù)。

6.如權(quán)利要求1所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，步驟S5中噴涂量的調(diào)整通過調(diào)整以下參數(shù)或其組合來進(jìn)行：噴涂時(shí)間、噴槍功率、送粉量和惰性氣體噴氣量。

7.如權(quán)利要求1所述的廢舊旋轉(zhuǎn)靶材回收、修復(fù)和再加工的方法，其特征在于，還包括步驟：

S6：修復(fù)后的旋轉(zhuǎn)靶材的包裝。