[發明專利]一種OLED蒸鍍用掩模板組件

在審

• 申請號: 201610198880.7
• 申請日: 2016-04-01
• 公開（公告）號: CN105714247A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 魏志凌;林偉;張煒平
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種OLED蒸鍍用掩模板組件，其包括掩?？蚣芗霸O置在所述掩?？蚣苌系闹辽僖唤M掩模單元，

其特征在于，所述掩模單元由掩模支撐層及設置在所述掩模支撐層上方的掩模層構成，所述掩模層貼合的設置在掩模支撐層上表面，所述掩模單元通過掩模支撐層固定在所述掩?？蚣苌?；所述掩模層上設置有若干掩模開口區，所述掩模開口區由通孔陣列形成；所述掩模支撐層上設置有連續小開口構成的陣列孔圖形區；所述掩模支撐層上陣列孔圖形區的覆蓋范圍能夠完全覆蓋所述掩模層上的掩模開口區，所述掩模層上的掩模開口區與所述掩模支撐層上陣列孔圖形區重合部分構成掩模板蒸鍍區；在所述掩模板蒸鍍區內部，構成所述掩模層掩模開口區的通孔與構成所述掩模支撐層陣列孔圖形區的小開口共同形成蒸鍍通道。

2.根據權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模層掩模開口區內通孔的尺寸不大于所述掩模支撐層陣列孔圖形區上小開口的尺寸。

3.根據權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模層掩模開口區內通孔的尺寸小于所述掩模支撐層陣列孔圖形區上小開口的尺寸，且每個掩模開口區的通孔處于相應陣列孔圖形區的小開口內部。

4.根據權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，在所述掩模支撐層的長度方向上，所述掩模支撐層上陣列孔圖形區的區域形狀為矩形、兩端為燕尾型或兩端部為收縮型。

5.根據權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構成所述掩模板組件掩模單元的掩模層為高分子復合材料，所述掩模支撐層為金屬材料。

6.根據權利要求5所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構成所述掩模板組件掩模單元的掩模層由高分子感光材料制成，所述掩模支撐層為因瓦材料。

7.根據權利要求5所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構成所述掩模單元的掩模支撐層是通過激光工藝、電鑄工藝、蝕刻工藝中的一種或多種工藝結合制作形成；構成所述掩模單元的掩模層是通過曝光、顯影工藝相結合的方式制作形成。

8.根據權利要求1、2或3所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構成所述掩模單元的掩模支撐層通過激光焊接工藝直接固定在所述掩?？蚣苌?，構成所述掩模單元的掩模層通過壓貼工藝固定在所述掩模支撐層上表面。

9.根據權利要求1所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，構成所述掩模單元的掩模支撐層兩端具有用于夾持的外部夾持端，所述外部夾持端是在所述掩模單元的長度方向上在掩模支撐層兩端延伸形成。

10.根據權利要求9所述的OLED蒸鍍用掩模板組件，其特征在于，所述掩模支撐層兩端的外部夾持端與所述掩模支撐層兩端通過凹槽連接。