[發明專利]太陽能電池柵線電極圖形的壓印加工方法有效
| 申請號： | 201610189088.5 | 申請日： | 2016-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN105742380B | 公開（公告）日： | 2017-12-19 |
| 發明（設計）人： | 朱學林;季益群 | 申請（專利權）人： | 江蘇歐達豐新能源科技發展有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/0224 | 分類號： | H01L31/0224 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 電極 圖形 壓印 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種太陽能電池柵線電極圖形的壓印加工方法，其特征在于：包括以下步驟：
1）干膜鋪設：在太陽能電池表面鋪設干膜，采用滾壓工藝，干膜材料為熱塑性感光或水溶性薄膜材料，薄膜厚度20~80微米，滾壓時的溫度范圍60~120攝氏度，壓力10KPa~200kPa，滾壓時硅片相對進給速度：5~600毫米/秒；
2）滾輪壓印電極圖形：采用滾輪壓印時的溫度范圍60~120攝氏度，壓力0.5MPa~10MPa，滾壓時硅片相對進給速度：5~600毫米/秒；
3）等離子體去除殘留層：頻率選用微波段，或者射頻段，氣體采用氧氣O2或者四氟化碳CF4，氣體流量5~200sccm，功率20~300W；
4）滾輪壓印銀漿：采用滾輪壓印時的壓力0.5MPa~10MPa，滾壓時硅片相對進給速度：5~600毫米/秒；
5）溶解去除干膜。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池柵線電極圖形的壓印加工方法，其特征在于：所述步驟2）中的滾輪表面設有微凸起結構。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
