[發明專利]一種薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置

在審

• 申請號: 201610188971.2
• 申請日: 2016-03-28
• 公開（公告）號: CN107234509A
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 鄭師光;喬金;姜濱;何志強
• 申請（專利權）人: 沈陽海默數控機床有限公司
• 主分類號: B24B7/17
• 分類號: B24B7/17;B24B7/22;B24B41/00;B24B49/02;B24B51/00;B24B41/02
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙)21234
• 代理人: 張志偉

技術領域

本發明涉及磨削領域，具體為一種薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，適用于半導體晶片等形狀的、對薄板圓板狀工件的兩面同時磨削，以及在此裝置中測定工件磨削加工后其厚度方向的切面形狀。

背景技術

傳統的薄板圓板狀工件的兩面同時磨削裝置，以往的認知是這樣的：在為了使端面兩個磨削面能夠呈相對朝向而配置的一對回旋磨削砂輪的中間，使工件通過放入回旋的圓板狀的夾具的洼坑。在此情況下，磨削砂輪的磨削面的外徑必須比工件的外徑要大。此外，在夾具的外表面的圓周上，通常會等間距地形成幾個洼坑，夾具的一部分會同晶片一起進入一對磨削砂輪的中間。但是，該部分的夾具的厚度必定要比磨削時的一對磨削砂輪的間隔，也就是工件完成加工后的厚度要小。

尤其是目前所使用的半導體晶片的外徑大約有200mm和300mm兩種規格，兩者的厚度都是0.8mm程度，相比于外徑厚度十分地薄。用上述的裝置對該晶片進行磨削時，由于晶片的外徑相對較大，砂輪的外徑會增大，對晶片進行收容并使之回旋的夾具也會增大，裝置會比較大型。此外，由于晶片的厚度極薄，同晶片一起進入磨削砂輪中間的夾具部分必須要十分薄才行。特別是進入磨削砂輪的中間夾具，特別是在洼坑的部分，以被其所收容的工件為媒介，磨削力產生作用，但是將此部分變薄的話強度就會下降，使工件順暢滑動將會變得困難。因此，以往，晶片的兩面磨削是困難的。

此外，由于磨削會產生砂輪的堵塞和砂輪磨損等引起的磨削阻力的增加，砂輪軸或者裝置整體會產生熱變位，使兩個磨削面不能完全達到平行的狀態。由此，加工后的工件平行度會下降。雖然在對砂輪軸進行設置后，被加工后的工件平行度會達到要求的規格，但是一段時間后，由于上述原因，會達不到規格。因此，為了保證工件的平行度處于規格內，隔一段時間需要進行一次抽樣調查，用平行 度檢測裝置對加工后的工件的平行度進行檢測，根據其結果調整砂輪軸的傾斜程度。但是，這樣做的話，如果對平行度進行測定需要一個小時的話，在此期間就會產生幾十個不合格工件。此外，抽樣調查需要人手，也會產生降低工作效率的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，能夠滿足簡單地測定加工后的工件平行度，并提高工件平行度。

本發明的技術方案是：

一種薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，該裝置設有上下垂直方向上的上基座和下基座，上主軸支座固定在上基座上，上砂輪軸安裝在上主軸支座上，上砂輪軸在上主軸支座上在垂直方向上上下移動，上砂輪固定在上砂輪軸的一端，上砂輪以鉛直軸為中心進行回轉運動；下主軸支座固定在下基座上，下砂輪軸安裝在下主軸支座上，下砂輪軸在下主軸支座上在垂直方向上上下移動，下砂輪固定在下砂輪軸上，下砂輪以鉛直軸為中心進行回轉運動，上砂輪軸和下砂輪軸兩個砂輪軸在垂直方向上延伸的中心線保持一致；

在上基座和下基座相對應處上部設置滑座，滑座與橫向電機連接，通過橫向電機帶動滑座橫向移動；在滑座上固定自轉裝置，自轉裝置的上方固定調整角度用的墊圈，自轉裝置通過墊圈固定支撐部件；在支撐部件外側突出部分上固定著電動馬達，電動馬達的輸出端直接連接著驅動滾輪，通過運行電動馬達使驅動滾輪回旋運動；在支撐部件的下端部分安裝導輪，驅動滾輪壓在工件的上磨削面。

所述的薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，自轉裝置的下方固定安裝氣缸，移動部件固定在氣缸伸出的支柱上；在移動部件的上端固定安裝導向棒，支撐部件在導向棒上裝有的壓縮彈簧；在導向棒上側的擋塊固定在支撐部件上，抑制滾輪安裝在支撐部件上側突出部分，抑制滾輪支撐工件的下磨削面。

所述的薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，還設有砂輪傾斜調整裝置，上砂輪軸和下砂輪軸各有兩個砂輪傾斜調整裝置，其中一組調整砂輪在前后方向的傾斜，另外一組是調整砂輪在左右方向的傾斜，在平面位置上兩組砂輪傾斜裝置呈90度方向安裝。

所述的薄板圓板狀工件的兩面磨削裝置，砂輪傾斜調整裝置由電動馬達、支架、螺絲軸、移動螺母、支臂、彈簧和支撐臂組成，上砂輪軸或下砂輪軸與支撐 臂的一端面連接，支撐臂的另一端面固定在上主軸支座或下主軸支座上，支臂固定在上砂輪軸或下砂輪軸上，并嵌入支撐臂的內側，在支撐臂和支臂的中間設置將支臂向前進行推動的壓縮彈簧；移動螺母安裝于螺絲軸上，在支撐臂的側面連接電動馬達，電動馬達帶動螺絲軸進行回旋，移動螺母進行左右移動。