[發明專利]一種有機材料蒸發裝置

在審

• 申請號: 201610186061.0
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN105648405A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 廖良生;武啟飛;陳敏
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電裝備技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

技術領域

本發明涉及一種蒸發裝置，尤其涉及一種有機材料蒸發裝置。

背景技術

真空熱蒸發鍍膜在有機EL(ElectroLuminescence)電致發光，有機太陽能電池，金屬電極，食品包裝等行業被廣泛應用，以及相應薄膜器件的產業化中應用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發源與基板（襯底）之間輸運，最后蒸發的分子或原子在基板（襯底）上沉積。

在有機發光顯示裝置中，發射可見光的有機發光層和接近有機發光層的有機層通過利用各種方法形成。尤其是真空沉積方法由于其簡單的工藝而經常被使用。在真空沉積方法中，將粉狀或固態的沉積材料填充到熔爐中，并通過對熔爐進行加熱而在期望的區域上形成沉積膜，而現有技術中，蒸發設備結構復雜，安裝維修復雜，功耗大，成本高。

發明內容

本發明的目的是解決上述現有技術的不足，提供一種有機材料蒸發裝置。

為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案為：

一種有機材料蒸發裝置，包括陶瓷封接電極、連接套和蒸發源，所述連接套分別與陶瓷封接電極和蒸發源相密封配接，并且所述陶瓷封接電極的導電柱延伸至所述連接套的內部，

其中，所述蒸發源包括與連接套相接的基座，所述基座背離所述連接套的一側設置有陶瓷座，所述陶瓷座上設置有坩堝，所述坩堝內繞制有加熱絲，所述加熱絲的引腳穿過坩堝的底部、陶瓷座及基座與所述陶瓷封接電極的導電柱相導通連接。

進一步地，所述蒸發源還包括一防護罩，所述防護罩一側與所述基座相固接，所述陶瓷座、坩堝均位于所述防護罩的內腔。

進一步地，所述防護罩與所述基座之間為螺紋配接。

進一步地，所述防護罩為圓筒狀不銹鋼防護罩。

進一步地，所述基座上設置有一用于測溫的熱電偶，所述熱電偶的測溫端穿過所述陶瓷座與所述坩堝的外表面相抵接，所述熱電偶的引腳與所述陶瓷封接電極的導電柱相導通連接。

進一步地，所述陶瓷封裝電極與連接套之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設置有密封圈。

進一步地，所述坩堝可拆卸插接于所述陶瓷座上。

進一步地，所述坩堝至少包括石英坩堝、氧化鋁陶瓷坩堝。

進一步地，所述坩堝內加熱絲繞制呈螺旋狀。

進一步地，所述加熱絲為鉭絲或壩塔爾合金絲。

本發明的有益效果主要體現在：

1.結構簡單緊湊，安裝及維修均較為便捷；

2.增設了熱電偶，能在加熱過程中直觀的監測溫度，有利于控制材料的蒸發；

3.采用鉭加熱絲或鎢加熱絲作為加熱介質，可以達到較高溫度，加熱速度快，效率高，耗能低；

4.具有防護罩，起到隔熱防污等作用，降低了熱能損耗。

附圖說明

圖1是本發明一種有機材料蒸發裝置的結構示意圖；

圖2是本發明一種有機材料蒸發裝置的截面結構示意圖。

具體實施方式

本發明提供一種有機材料蒸發裝置。以下結合附圖對本發明技術方案進行詳細描述，以使其更易于理解和掌握。

如圖1和圖2所示，一種有機材料蒸發裝置，包括陶瓷封接電極1、連接套2和蒸發源3，連接套2分別與陶瓷封接電極1和蒸發源3相密封配接，并且陶瓷封接電極1的導電柱4延伸至連接套2的內部，形成一個整體的部件，可安裝至真空鍍膜腔體上。其中，蒸發源3包括與連接套2相接的基座5，基座5背離連接套2的一側設置有陶瓷座6，陶瓷座6上設置有坩堝7，坩堝7內繞制有加熱絲8，加熱絲8的引腳穿過坩堝7的底部、陶瓷座6及基座5與陶瓷封接電極1的導電柱4相導通連接。

更具體的描述，陶瓷封裝電極1與連接套2之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設置有密封圈11，密封性能好，陶瓷封裝電極的主體采用304不銹鋼，且其安裝接口為KF25或KF40快卸法蘭，陶瓷封裝電極中間具有四根導電柱，導電柱優選為銅電極，銅電極與陶瓷封裝電極的主體之間采用陶瓷材料絕緣并焊接密封，其中兩根作為加熱絲的供電，兩根作為熱電偶9的信號。基座5與連接套2之間由螺釘進行固定，基座5優選為不銹鋼材質，其上開設有供熱電偶9、加熱絲8引腳穿過的通孔。陶瓷座6為氧化鋁陶瓷制得，其上亦設有供加熱絲8及熱電偶9穿過的通孔。坩堝7可拆卸插接于陶瓷座6上。