[發明專利]一種有機材料蒸發裝置

在審

• 申請號: 201610186061.0
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN105648405A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 廖良生;武啟飛;陳敏
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電裝備技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

1.一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：包括陶瓷封接電極、連接套和蒸發源，所述連接套分別與陶瓷封接電極和蒸發源相密封配接，并且所述陶瓷封接電極的導電柱延伸至所述連接套的內部，

其中，所述蒸發源包括與連接套相接的基座，所述基座背離所述連接套的一側設置有陶瓷座，所述陶瓷座上設置有坩堝，所述坩堝內繞制有加熱絲，所述加熱絲的引腳穿過坩堝的底部、陶瓷座及基座與所述陶瓷封接電極的導電柱相導通連接。

2.根據權利要求1所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述蒸發源還包括一防護罩，所述防護罩一側與所述基座相固接，所述陶瓷座、坩堝均位于所述防護罩的內腔。

3.根據權利要求2所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述防護罩與所述基座之間為螺紋配接。

4.根據權利要求2或3所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述防護罩為圓筒狀不銹鋼防護罩。

5.根據權利要求1所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述基座上設置有一用于測溫的熱電偶，所述熱電偶的測溫端穿過所述陶瓷座與所述坩堝的外表面相抵接，所述熱電偶的引腳與所述陶瓷封接電極的導電柱相導通連接。

6.根據權利要求1所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述陶瓷封裝電極與連接套之間為焊接，并且陶瓷封裝電極與連接套之間設置有密封圈。

7.根據權利要求1所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝可拆卸插接于所述陶瓷座上。

8.根據權利要求1所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝至少包括石英坩堝、氧化鋁陶瓷坩堝。

9.根據權利要求1或8所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述坩堝內加熱絲繞制呈螺旋狀。

10.根據權利要求9所述的一種有機材料蒸發裝置，其特征在于：所述加熱絲為鉭絲或壩塔爾合金絲。