[發明專利]應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置

在審

• 申請號: 201610186047.0
• 申請日: 2016-03-29
• 公開（公告）號: CN105624612A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 廖良生;武啟飛;陳敏
• 申請（專利權）人: 蘇州方昇光電裝備技術有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;陳忠輝

1.應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：包括陶瓷封接電極和金屬蒸發主體，

其中，所述金屬蒸發主體包括陶瓷管、坩堝、加熱絲和主體支架，三片氧化鋁陶瓷片和復數支撐絲桿，

所述主體支架由復數支撐絲桿分別貫穿至少三片氧化鋁陶瓷片組成，支撐絲桿與氧化鋁陶瓷片之間相對固定，相鄰氧化鋁陶瓷片之間留有間隙，

所述陶瓷管套設與所述主體支架上，并且限位于主體支架的兩側氧化鋁陶瓷片之間，

所述主體支架的一側氧化鋁陶瓷片上貫穿設置有電極柱，另一側氧化鋁陶瓷片上開設有裝載所述坩堝的槽孔，所述坩堝設置于所述槽孔內，并且坩堝的敞口朝外，

所述加熱絲軸向穿接繞置于裝載坩堝的氧化鋁陶瓷片及與其相鄰的氧化鋁陶瓷片之間，并且加熱絲圍繞所述坩堝的外壁，所述加熱絲的兩端分別與電極柱相導通連接，

所述陶瓷封接電極與所述電極柱相導通連接。

2.根據權利要求1所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述陶瓷管與所述主體支架之間設置有鉭箔層。

3.根據權利要求1所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述金屬蒸發主體內設置有用于測量溫度的熱電偶，所述熱電偶與所述電極柱相導通連接，并且所述熱電偶的感溫點與所述加熱絲相鄰。

4.根據權利要求1或3所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述電極柱通過一連接套與所述熱電偶及加熱絲相導通連接。

5.根據權利要求4所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述熱電偶為S型熱電偶或鎢錸熱電偶。

6.根據權利要求1所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述裝載坩堝的氧化鋁陶瓷片的槽孔四周設置有用于穿接加熱絲的穿接孔，與所述裝載坩堝的氧化鋁陶瓷片相鄰的氧化鋁陶瓷片亦設置有用于穿接加熱絲的穿接孔，所述加熱絲沿穿接孔穿接于兩氧化鋁陶瓷片之間。

7.根據權利要求1所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述加熱絲至少包括鉭絲和鎢絲。

8.根據權利要求1或7所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述加熱絲的線徑為0.3~1mm。

9.根據權利要求2所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述鉭箔層的厚度為0.02~0.1mm，表面粗糙度優于Ra0.8。

10.根據權利要求1所述的應用于蒸發鍍膜的金屬蒸發裝置，其特征在于：所述支撐絲桿為鎢桿或鉬桿。