[發(fā)明專利]圖形線形成裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610179210.0
• 申請日: 2016-03-25
• 公開（公告）號: CN107225857B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設計）人: 申哲鎮(zhèn);成明俊;薛捧浩;金謙旭
• 申請（專利權）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類號: B41J2/11
• 分類號: B41J2/11;B41J3/407
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發(fā)明提供一種圖形線形成裝置及方法，所述裝置包括：架臺，用于安放基板；噴嘴單元，位于所述基板的上側，向所述基板上排出油墨，從而形成圖形線；偏差單元，生成高電平和低電平的信號以規(guī)定的時間和間隔所重復的規(guī)定波形的偏差信號，并施加到所述噴嘴單元；其中，根據(jù)所述偏差信號，無需向所述基板施加接地電位，便在所述基板與所述噴嘴單元之間形成電場，根據(jù)所述偏差信號的波形、所述高電平和低電平的電位差和周期，調節(jié)從所述噴嘴單元所排出的油墨的排出量和排出時間。

技術領域

本發(fā)明涉及圖形線形成裝置及方法，尤其涉及利用了電流體力學(electrohydrodynamics)的圖形線形成裝置及方法。

背景技術

最近，各種電子產品陸續(xù)問世，在其內部包含著用于執(zhí)行各種功能的半導體元件。半導體元件，根據(jù)輕量化及薄型化的趨勢，其體積逐漸變小，由此內部圖形線的寬度也逐漸變窄。并且，LCD、OLED等平板顯示器(Flat Panel Display：FPD)，為了在單位面積上實現(xiàn)更多的像素，用于驅動各像素的電路元件變得更小，用于連接各電路元件的圖形線的寬度也變得更窄。而且，隨著顯示面板的高分辨率趨勢，智能手機、電視、顯示器、筆記本電腦等各種顯示設備趨于輕量化和小型化，由此在集成了用于驅動顯示設備的電路的印刷電路基板(Printed Circuit Board：PCB)上所形成的圖形線，也形成為復雜多樣，而且形成得微細。

另外，隨著對柔性顯示器(Flexible Display)的要求增大，如現(xiàn)有技術的化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition：CVD)，于高溫高壓下無法在基板上形成圖形線的工藝逐漸增多。即，形成了圖形線之后，需修復產生了缺陷的部分，而利用了現(xiàn)有技術之CVD的修復方法，則使用將金屬源(Metal source)氣化而供給到圖形線斷開的部分，并照射激光，以進行沉積的方式。但是，該種方式，由于利用激光來執(zhí)行沉積過程，因此當基板材質的耐熱性較低時，給基板帶來損傷及變形，所以存在無法執(zhí)行修復的問題。并且，需在真空氣氛的腔室內進行修復，因此設備維護難，設備的體積不得不變大。

因此，用于在半導體、FPD、PCB等形成圖形線的裝置，或者用于修復(repair)在所形成的圖形線上產生之缺陷的裝置，也要求可以執(zhí)行低溫工藝，且可以形成更窄的圖形線。

為了可以執(zhí)行低溫工藝，在現(xiàn)有技術中，使用了利用空壓或壓電元件來排出油墨的噴墨打印設備，以形成圖形線。即，向排出油墨的噴嘴施加空壓，或者在噴嘴設置壓電元件并向壓電元件施加規(guī)定的電位，從而排出油墨。但是，該種噴墨方式無法排出極微量的油墨，因此無法形成微細的圖形線，存在圖形線的線寬不均勻的問題。

為了解決該種噴墨方式中存在的問題，在噴嘴與基板之間形成電場(ElectricalField)而排出油墨的、利用了電流體力學的圖形形成裝置得以利用起來。但是，現(xiàn)有技術的電流體力學方式，需要在基板上接觸接地電極，或者在基板與噴嘴之間設置另外的帶電電極。由此，接地電極的接觸會引起基板受損和污染問題，基板的導電特性所致而形成的不規(guī)則的電場會引起排出量的控制不良等問題。

另外，在本案的申請人所申請過的韓國授權專利第10-1454106號中，提及了通過向噴嘴施加交流電源來無需將基板接地。但是，單純地通過施加交流電源，則無法形成各種線寬的圖形線。即，只有利用同一裝置形成各種線寬的圖形線，才能提高設備的效用性，但是向噴嘴單純地施加交流電源時，只能形成相同線寬的圖形，因此無法形成各種線寬或形狀的圖形線。

【現(xiàn)有技術文獻】

韓國授權專利第10-1454106號

發(fā)明內容

解決的問題

本發(fā)明的目的在于提供一種無須高溫高壓工藝而設備的構成簡單，且與噴墨裝置相比，可以形成顯著微細線寬之圖形線的圖形線形成裝置及方法。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種在基板上無需接觸接地電極的圖形線形成裝置及方法。