[發(fā)明專利]單晶爐用熱場(chǎng)及單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610177122.7
• 申請(qǐng)日: 2016-03-25
• 公開（公告）號(hào): CN107227488B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧浩;張龍龍;劉培東;張駿凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 羅笛

本發(fā)明公開的單晶爐用熱場(chǎng)，包括坩堝及位于其上方的冷卻件，還包括護(hù)套，護(hù)套設(shè)置于冷卻件靠近坩堝中心軸線的一側(cè)。本發(fā)明公開的單晶爐，包括爐體和如上所述的單晶爐用熱場(chǎng)，單晶爐用熱場(chǎng)位于爐體內(nèi)。本發(fā)明的單晶爐用熱場(chǎng)及單晶爐解決了現(xiàn)有技術(shù)拉制單晶時(shí)提高拉晶速度與提高單晶質(zhì)量?jī)烧卟豢杉骖櫟膯栴}。本發(fā)明的單晶爐用熱場(chǎng)及單晶爐具有冷卻件，可以優(yōu)化溫度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于設(shè)置了護(hù)套，還能確保生長(zhǎng)的晶體不受雜質(zhì)污染、提供具有良好少子壽命的晶體產(chǎn)品。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于單晶制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐用熱場(chǎng)，還設(shè)計(jì)一種具有該單晶爐用熱場(chǎng)的單晶爐。

背景技術(shù)

隨著世界經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，現(xiàn)代化建設(shè)對(duì)高效能源需求不斷增長(zhǎng)。光伏發(fā)電作為綠色能源以及人類可持續(xù)發(fā)展的一種主要能源，日益受到世界各國(guó)的重視并得到大力發(fā)展。單晶硅片作為光伏發(fā)電的一種基礎(chǔ)材料，擁有廣泛的市場(chǎng)需求。直拉單晶硅生長(zhǎng)方法是一種常見的單晶生長(zhǎng)方法，其生長(zhǎng)過(guò)程是在單晶爐中，將籽晶浸入熔體，依次實(shí)施引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑及收尾過(guò)程，最后獲得單晶硅棒。為了降低拉晶成本，一種途徑是提升拉晶速度，但拉晶速度的提升往往帶來(lái)晶體品質(zhì)的下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種單晶爐用熱場(chǎng)，解決了現(xiàn)有的熱場(chǎng)在提高拉晶速度和提高單晶品質(zhì)方面難以同時(shí)兼顧的問題。

本發(fā)明的目的還在于提供一種具有該單晶爐用熱場(chǎng)的單晶爐，解決了現(xiàn)有的單晶爐存在的在提高拉晶速度和提高單晶品質(zhì)方面難以同時(shí)兼顧的問題。

本發(fā)明所采用的一種技術(shù)方案是：?jiǎn)尉t用熱場(chǎng)，包括坩堝及位于其上方的冷卻件，還包括護(hù)套，護(hù)套設(shè)置于冷卻件靠近坩堝中心軸線的一側(cè)。

本發(fā)明的特點(diǎn)還在于，

護(hù)套為石英材質(zhì)。

護(hù)套具有相對(duì)的第一表面和第二表面，第一表面靠近坩堝中心軸線的一側(cè)，第二平面與冷卻件相對(duì)設(shè)置。

第二表面與冷卻件間隔設(shè)置或者相貼合接觸。

還包括位于坩堝上方的熱屏，冷卻件位于熱屏與護(hù)套之間。

本發(fā)明所采用的另一種技術(shù)方案是：?jiǎn)尉t，包括爐體和如上所述的單晶爐用熱場(chǎng)，單晶爐用熱場(chǎng)位于爐體內(nèi)。

本發(fā)明的特點(diǎn)還在于，

爐體包括相連接的主室和副室，主室內(nèi)具有坩堝、保溫蓋及冷卻件，保溫蓋和冷卻件依次位于坩堝靠近副室的一端，冷卻件靠近坩堝中心軸線的一側(cè)還設(shè)置有護(hù)套。

爐體包括相連接的主室和副室，主室內(nèi)具有坩堝及位于坩堝靠近副室一端的保溫蓋，主室內(nèi)還具有第一冷卻件和第二冷卻件，第一冷卻件位于坩堝與保溫蓋之間，第二冷卻件位于保溫蓋靠近副室的一端，第一冷卻件和第二冷卻件靠近坩堝中心軸線的一側(cè)共同設(shè)置有護(hù)套。

護(hù)套上對(duì)應(yīng)于第一冷卻件和第二冷卻件的間隙處開設(shè)有取光孔。

主室內(nèi)還設(shè)置有位于坩堝與保溫蓋之間的熱屏，第一冷卻件位于熱屏與護(hù)套之間。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的單晶爐用熱場(chǎng)及單晶爐解決了現(xiàn)有技術(shù)拉制單晶時(shí)提高拉晶速度與提高單晶質(zhì)量?jī)烧卟豢杉骖櫟膯栴}。本發(fā)明的單晶爐用熱場(chǎng)及單晶爐具有冷卻件，可以優(yōu)化溫度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于設(shè)置了護(hù)套，還能確保生長(zhǎng)的晶體不受雜質(zhì)污染、提供具有良好少子壽命的晶體產(chǎn)品。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的單晶爐第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的單晶爐第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明的單晶爐第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。