[發明專利]單晶爐用熱場及單晶爐

有效

• 申請號: 201610177122.7
• 申請日: 2016-03-25
• 公開（公告）號: CN107227488B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 鄧浩;張龍龍;劉培東;張駿凱
• 申請（專利權）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.單晶爐用熱場，包括坩堝(121)及位于其上方的冷卻件(123)，其特征在于，還包括護套(124)，所述護套(124)設置于所述冷卻件(123)靠近所述坩堝(121)中心軸線的一側，所述護套(124)具有相對的第一表面(125)和第二表面(126)，所述第一表面(125)靠近所述坩堝(121)中心軸線的一側，所述第二表面(126)與所述冷卻件(123)間隔設置或者相貼合接觸。

2.如權利要求1所述的單晶爐用熱場，其特征在于，所述護套(124)為石英材質。

3.如權利要求1或2所述的單晶爐用熱場，其特征在于，還包括位于所述坩堝(121)上方的熱屏(122)，所述冷卻件(123)位于所述熱屏(122)與所述護套(124)之間。

4.單晶爐，其特征在于，包括爐體(110)和如權利要求1-3任一項所述的單晶爐用熱場，所述單晶爐用熱場位于所述爐體(110)內。

5.如權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述爐體(110)包括相連接的主室(111)和副室，所述主室(111)內具有坩堝(121)、保溫蓋(127)及冷卻件(123)，所述保溫蓋(127)和所述冷卻件(123)依次位于所述坩堝(121)靠近所述副室的一端，所述冷卻件(123)靠近所述坩堝(121)中心軸線的一側還設置有護套(124)。

6.如權利要求4所述的單晶爐，其特征在于，所述爐體(110)包括相連接的主室(111)和副室，所述主室(111)內具有坩堝(121)及位于所述坩堝(121)靠近所述副室一端的保溫蓋(127)，所述主室(111)內還具有第一冷卻件(1231)和第二冷卻件(1232)，所述第一冷卻件(1231)位于所述坩堝(121)與所述保溫蓋(127)之間，所述第二冷卻件(1232)位于所述保溫蓋(127)靠近所述副室的一端，所述第一冷卻件(1231)和第二冷卻件(1232)靠近所述坩堝(121)中心軸線的一側共同設置有護套(124)。

7.如權利要求6所述的單晶爐，其特征在于，所述護套(124)上對應于所述第一冷卻件(1231)和第二冷卻件(1232)的間隙處開設有取光孔(128)。

8.如權利要求6所述的單晶爐，其特征在于，所述主室(111)內還設置有位于所述坩堝(121)與所述保溫蓋(127)之間的熱屏(122)，所述第一冷卻件(1231)位于所述熱屏(122)與所述護套(124)之間。