[發(fā)明專利]一種面板的檢測方法及其檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610173568.2
• 申請日: 2016-03-24
• 公開（公告）號: CN105589234B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 薛靜;朱紅;許倩文;谷玥;劉洪澤;趙亮;王海金
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種面板的檢測方法，其特征在于，包括：

對測試樣品組進行高溫信賴性測試，確定所述測試樣品組中出現缺陷的面板；所述測試樣品組為包括未切割的多個面板的標準面板組；所述高溫信賴性測試的溫度范圍設置在50攝氏度至70攝氏度之間；

將所述測試樣品組進行拆解得到包含多個陣列基板的母板，根據陣列基板的TFT的柵極截止電壓值，確定所述出現缺陷的面板中陣列基板的TFT的與所述柵極截止電壓值對應的漏電流值；

若確定的所述漏電流值與預先確定的標準關態(tài)電流值之間的差值小于或等于設定閾值，判斷所述測試樣品組中陣列基板的TFT合格；若否，則判斷所述測試樣品組中陣列基板的TFT未合格。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，根據所述陣列基板的TFT的柵極截止電壓值，確定所述出現缺陷的面板中陣列基板的TFT的與所述柵極截止電壓值對應的漏電流值，具體包括：

對所述出現缺陷的面板中陣列基板上的測試點進行TFT特性曲線測試；所述測試點設置在所述陣列基板的非顯示區(qū)域且包含與顯示區(qū)域和柵極驅動電路的TFT形狀相同的TFT；

根據所述陣列基板的TFT的柵極截止電壓值，在得到的TFT特性曲線中確定所述出現缺陷的面板中陣列基板的TFT的與所述柵極截止電壓值對應的漏電流值。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，采用下述方式確定測試樣品組中出現缺陷的面板：

對所述測試樣品組中所有陣列基板加載柵極開啟信號；

在所述測試樣品組中的所有像素點被點亮時，控制溫度上升至預定溫度，確定在溫度上升的過程中出現不良現象的面板作為出現缺陷的面板。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，對所述測試樣品組中所有陣列基板加載柵極開啟信號，具體包括：

通過在所述測試樣品組的周邊區(qū)域設置的與所有陣列基板電性連接的啟動信號端對所有陣列基板加載柵極開啟信號；或，

分別對所有陣列基板加載柵極開啟信號。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，采用下述方式確定標準關態(tài)電流值：

對未出現缺陷的面板中陣列基板上的測試點進行TFT特性曲線測試；所述測試點設置在所述陣列基板的非顯示區(qū)域且包含與顯示區(qū)域和柵極驅動電路的TFT形狀相同的TFT；

根據所述陣列基板的TFT的柵極截止電壓值，在得到的TFT特性曲線中確定所述未出現缺陷的面板中陣列基板的TFT的與所述柵極截止電壓值對應的漏電流值作為標準關態(tài)電流值。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，判斷所述測試樣品組中陣列基板的TFT未合格時，對所述陣列基板的TFT設計或工藝條件進行改進，并重新制作測試樣品組進行檢測直至改進后的測試樣品組中所有陣列基板的TFT合格。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，對陣列基板的TFT設計進行改進，具體包括：

調整陣列基板上的各TFT的柵極與有源層的位置對應關系；或，

調整有源層的尺寸大小。

8.如權利要求6所述的方法，其特征在于，對陣列基板的工藝條件進行改進，具體包括：

調整陣列基板上的柵極絕緣層、有源層、鈍化層或歐姆接觸層的工藝參數。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述設定閾值為15pA。