[發(fā)明專利]一種分子束外延中標(biāo)定襯底表面實(shí)際溫度的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610172703.1 | 申請(qǐng)日： | 2016-03-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105841844B | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 顧溢;張永剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01K15/00 | 分類號(hào)： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233 | 代理人： | 黃志達(dá) |
| 地址： | 200050 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 分子 外延 標(biāo)定 襯底 表面 實(shí)際 溫度 方法 | ||
【說明書】：
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