[發明專利]一種分子束外延中標定襯底表面實際溫度的方法有效
| 申請號： | 201610172703.1 | 申請日： | 2016-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN105841844B | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發明（設計）人： | 顧溢;張永剛 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01K15/00 | 分類號： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知識產權代理事務所 31233 | 代理人： | 黃志達 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 分子 外延 標定 襯底 表面 實際 溫度 方法 | ||
【權利要求書】：
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