[發明專利]拋光墊窗有效
| 申請號： | 201610161203.8 | 申請日： | 2016-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN106002608B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | B·錢;E·S·西蒙;G·C·雅各布 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司;陶氏環球技術有限責任公司 |
| 主分類號： | B24B37/20 | 分類號： | B24B37/20;B24B37/04;B24B37/013;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陸蔚;陳哲鋒 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 | ||
【說明書】：
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