[發(fā)明專利]拋光墊窗有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610161203.8 | 申請(qǐng)日： | 2016-03-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106002608B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | B·錢(qián);E·S·西蒙;G·C·雅各布 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 羅門(mén)哈斯電子材料CMP控股股份有限公司;陶氏環(huán)球技術(shù)有限責(zé)任公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B37/20 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B37/20;B24B37/04;B24B37/013;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 陸蔚;陳哲鋒 |
| 地址： | 美國(guó)特*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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