[發明專利]一種具有防爆功能的銅制程裝置及銅制程防爆方法

在審

• 申請號: 201610159171.8
• 申請日: 2016-03-18
• 公開（公告）號: CN105717720A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 李嘉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/133;C23F1/18;C23F1/00
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

技術領域

本發明涉及液晶顯示器生產技術領域，尤其涉及一種具有防爆功能的銅制程裝置及銅制程防爆方法。

背景技術

隨著TFT-LCD(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay，即薄膜晶體管液晶顯示器)逐漸往超大尺寸、高驅動頻率、高分辨率等方面發展，如何有效地降低面板導線電阻與寄生電容日趨重要。薄膜晶體管液晶顯示器在制作時，高質量的導線制程技術已經成為主宰薄膜晶體管組件與面板特性的關鍵。

在TFT中，Cu制程由于低電阻、高頻等優點現已取代Al而被廣泛應用在大尺寸面板上。但是Cu金屬刻蝕通常使用的是雙氧水，雙氧水形態非常不穩定，隨著藥液Cu離子含量增加會加速雙氧水的分解，從而短時間內產生大量的熱和氣體，容易出現容器爆炸，給安全生產帶來隱患。

發明內容

鑒于現有技術存在的不足，本發明提供了一種安全可靠的具有防爆功能的銅制程裝置及防爆方法。

為了實現上述的目的，本發明采用了如下的技術方案：

一種具有防爆功能的銅制程裝置，包括反應腔室、設于所述反應腔室下方用于盛放刻蝕用的藥液的容器、進液管、回流管、溫控單元、自控單元和所述進液管上的泵，所述反應腔室內設有用于朝其內的基板噴灑藥液的噴淋組件，所述進液管連接在所述噴淋組件和所述容器之間，所述回流管連接在所述應腔室的底部和所述容器之間，所述進液管用于在所述泵的工作下自所述容器朝所述噴淋組件運輸藥液；所述溫控單元包括溫度傳感器，所述溫度傳感器設于所述容器內，用于實時檢測所述容器內的藥液溫度；所述自控單元與所述溫控單元電連接，所述容器內的藥液溫度高于預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述泵停止工作。

進一步地，所述具有防爆功能的銅制程裝置還包括連接所述自控單元的超溫警報模塊，所述容器內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍時，所述超溫警報模塊發出警報信息。

進一步地，所述溫控單元還包括加熱器，所述容器內的藥液溫度低于所述預設溫度范圍時，所述加熱器對所述容器內的藥液加熱直至藥液達到所述預設溫度范圍。

進一步地，所述具有防爆功能的銅制程裝置還包括連接所述容器的排水管，所述容器內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述排水管開啟排液。

進一步地，所述具有防爆功能的銅制程裝置還包括循環管道和設于所述循環管道上的循環泵，所述循環管道的兩端分別連接在所述容器的兩個不同高度的部位，所述循環泵自所述循環管道較低的管口朝另一管口輸送藥液。

進一步地，所述具有防爆功能的銅制程裝置還包括連接所述容器的稀釋水管，所述容器內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述稀釋水管開啟進水稀釋藥液。

本發明的另一目的在于提供一種銅制程防爆方法，其中，溫控單元檢測所述容器內的藥液溫度，在所述容器內的藥液溫度高于預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述泵停止工作，同時反應腔室內的藥液在重力作用下自所述回流管回流至所述反應腔室下部的所述容器。

進一步地，所述銅制程防爆方法還包括：在所述容器內的藥液溫度低于所述預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述溫控單元對所述容器內的藥液加熱直至藥液達到所述預設溫度范圍。

進一步地，所述銅制程防爆方法還包括：在所述容器內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍時，所述自控單元控制稀釋水管朝所述容器內注水直至藥液達到所述預設溫度范圍。

進一步地，所述銅制程防爆方法還包括：在所述容器內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍時，所述自控單元控制所述排水管開啟排液直至藥液低于預定液位，單位時間內所述稀釋水管的進水量小于排水管的排液量。

本發明利用溫控單元實時監控盛放藥液的容器的溫度，并在藥液的溫度不正常時，利用自控單元控制裝置的相應結構的協調，保證容器內藥液處于正常溫度。當藥液溫度過低時控制溫控單元加熱，當藥液溫度過高時可控制超溫警報模塊發出警報，并可切斷反應腔室的藥液供給，防止基板損傷。另外還可通過控制稀釋水管工作以降低容器內藥液的溫度，通過排水管排出稀釋后的藥液。該銅制程裝置和銅制程防爆方法可以保證銅制程順利進行，可以避免藥液反應過程中不穩定引起的容器爆炸，保障了作業人員的人身安全。

附圖說明

圖1為本發明實施例的銅制程裝置的結構示意圖。

圖2為本發明實施例的銅制程防爆結構的原理框圖。

圖3為本發明實施例的銅制程防爆方法的原理圖。

具體實施方式