[發明專利]一種具有防爆功能的銅制程裝置及銅制程防爆方法

在審

• 申請號: 201610159171.8
• 申請日: 2016-03-18
• 公開（公告）號: CN105717720A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 李嘉
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/133;C23F1/18;C23F1/00
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

1.一種具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，包括反應腔室(10)、設于所述反應腔室(10)下方用于盛放刻蝕用的藥液的容器(20)、進液管(30)、回流管(40)、溫控單元(50)、自控單元(C)和所述進液管(30)上的泵(M)，所述反應腔室(10)內設有用于朝其內的基板(S)噴灑藥液的噴淋組件(11)，所述進液管(30)連接在所述噴淋組件(11)和所述容器(20)之間，所述回流管(40)連接在所述應腔室(10)的底部和所述容器(20)之間，所述進液管(30)用于在所述泵(M)的工作下自所述容器(20)朝所述噴淋組件(11)運輸藥液；所述溫控單元(50)包括溫度傳感器，所述溫度傳感器設于所述容器(20)內，用于實時檢測所述容器(20)內的藥液溫度；所述自控單元(C)與所述溫控單元(50)電連接，所述容器(20)內的藥液溫度高于預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制所述泵(M)停止工作。

2.根據權利要求1所述的具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，還包括連接所述自控單元(C)的超溫警報模塊，所述容器(20)內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述超溫警報模塊發出警報信息。

3.根據權利要求1所述的具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，所述溫控單元(50)還包括加熱器，所述容器(20)內的藥液溫度低于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述加熱器對所述容器(20)內的藥液加熱直至藥液達到所述預設溫度范圍(T₀)。

4.根據權利要求1所述的具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，還包括連接所述容器(20)的排水管(60)，所述容器(20)內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制所述排水管(60)開啟排液。

5.根據權利要求1所述的具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，還包括循環管道(1)和設于所述循環管道(1)上的循環泵(M₀)，所述循環管道(1)的兩端分別連接在所述容器(20)的兩個不同高度的部位，所述循環泵(M₀)自所述循環管道(1)較低的管口朝另一管口輸送藥液。

6.根據權利要求1-5任一所述的具有防爆功能的銅制程裝置，其特征在于，還包括連接所述容器(20)的稀釋水管(70)，所述容器(20)內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元控制所述稀釋水管(70)開啟進水稀釋藥液。

7.一種銅制程防爆方法，其特征在于，溫控單元(50)檢測所述容器(20)內的藥液溫度，在所述容器(20)內的藥液溫度高于預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制所述泵(M)停止工作，同時反應腔室(10)內的藥液在重力作用下自所述回流管(40)回流至所述反應腔室(10)下部的所述容器(20)。

8.根據權利要求7所述的銅制程防爆方法，其特征在于，還包括：在所述容器(20)內的藥液溫度低于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制所述溫控單元(50)對所述容器(20)內的藥液加熱直至藥液達到所述預設溫度范圍(T₀)。

9.根據權利要求7或8所述的銅制程防爆方法，其特征在于，還包括：在所述容器(20)內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制稀釋水管(70)朝所述容器(20)內注水直至藥液達到所述預設溫度范圍(T₀)。

10.根據權利要求9所述的銅制程防爆方法，其特征在于，還包括：在所述容器(20)內的藥液溫度高于所述預設溫度范圍(T₀)時，所述自控單元(C)控制所述排水管(60)開啟排液直至藥液低于預定液位，單位時間內所述稀釋水管(70)的進水量小于排水管(60)的排液量。