[發明專利]彩膜基板及其制作方法、顯示裝置、曝光設備

有效

• 申請號: 201610158239.0
• 申請日: 2016-03-18
• 公開（公告）號: CN105589253B
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 肖宇;汪棟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

本發明涉及一種彩膜基板及其制作方法、顯示裝置、曝光設備，其中的彩膜基板的制作方法包括：在包括遮光圖形的基板表面上形成一層感光膠；使用沿不同方向傳播第一光束和第二光束透過掩膜板對所述感光膠進行曝光，以通過包括顯影的過程形成彩膜層；其中，所述第一光束透過掩膜板所照射的區域與所述第二光束透過掩膜板所照射的區域相互交疊，以在所述感光膠的曝光區域內形成交疊區域和非交疊區域；所述彩膜層中，搭接在所述遮光圖形之上的部分均位于所述非交疊區域內。由此，本發明可以改善傳統工藝下彩膜與黑矩陣重疊部分出現的角段差，并有助于提升膜層的平坦度和顯示器件的顯示品質。

技術領域

本發明涉及顯示技術，具體涉及一種彩膜基板及其制作方法、顯示裝置、曝光設備。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)以其具有高畫質、空間利用率高、低消耗功率、無輻射等眾多優點成為市場的主流。作為該類顯示器件中的主要部件，彩膜基板主要通過與子像素對應的彩膜來使透射的光線呈現相應的顏色。現有技術中，彩膜通常以感光膠的構圖工藝制作在已形成黑矩陣(Black Matrix，BM)的基板之上。如圖1所示，在傳統的曝光工藝下，均勻平行光曝光后形成的彩膜12會有一部分邊緣搭接在黑矩陣11上，并容易在搭接部分形成如圖1所示出的凸起結構而產生角段差，嚴重影響膜層的平坦度并降低顯示品質。

發明內容

針對現有技術中的缺陷，本發明提供一種彩膜基板及其制作方法、顯示裝置、曝光設備，可以改善傳統工藝下彩膜與黑矩陣重疊部分出現的角段差。

第一方面，本發明提供了一種彩膜基板的制作方法，包括：

在包括遮光圖形的基板表面上形成一層感光膠；

使用沿不同方向傳播第一光束和第二光束透過掩膜板對所述感光膠進行曝光，以通過包括顯影的過程形成彩膜層；

其中，所述第一光束透過掩膜板所照射的區域與所述第二光束透過掩膜板所照射的區域相互交疊，以在所述感光膠的曝光區域內形成交疊區域和非交疊區域；所述彩膜層中，搭接在所述遮光圖形之上的部分均位于所述非交疊區域內。

可選地，所述第一光束和所述第二光束來自于分束器件對一束平行光的分束。

可選地，形成所述第一光束和所述第二光束的光學系統包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于將入射的一束平行光分為沿不同方向傳播的第一平行光和第二平行光；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分別用于改變所述第一平行光和所述第二平行光的傳播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

可選地，所述形成所述第一光束和所述第二光束的光學系統還包括第一平面鏡、蠅眼透鏡、凹面鏡和第二平面鏡，其中：

所述第一平面鏡用于將光源發出的光反射至所述蠅眼透鏡的入光面；

所述凹面鏡用于將從所述蠅眼透鏡出射的光線通過反射為平行光；

所述第二平面鏡用于將來自所述凹面鏡的平行光反射，以形成入射所述分束器件的一束平行光。

可選地，所述使用第一光束和第二光束透過掩膜板對所述感光膠進行曝光，以通過包括顯影的過程形成彩膜層，包括：

使用第一光束和第一掩膜板對所述交疊區域和第一非交疊區域內的感光膠進行曝光；

使用第二光束和第二掩膜板對所述交疊區域和第二非交疊區域內的感光膠進行曝光。

可選地，所述第一光束與所述第二光束具有相同的光強；所述第一光束的傳播方向與基板之間的夾角等于所述第二光束的傳播方向與基板之間的夾角。