[發明專利]彩膜基板及其制作方法、顯示裝置、曝光設備

有效

• 申請號: 201610158239.0
• 申請日: 2016-03-18
• 公開（公告）號: CN105589253B
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 肖宇;汪棟
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

1.一種彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括：

在包括遮光圖形的基板表面上形成一層感光膠；

使用沿不同方向傳播第一光束和第二光束透過掩膜板對所述感光膠進行曝光，以通過包括顯影的過程形成彩膜層；

其中，所述第一光束透過掩膜板所照射的區域與所述第二光束透過掩膜板所照射的區域相互交疊，以在所述感光膠的曝光區域內形成交疊區域和非交疊區域；所述彩膜層中，搭接在所述遮光圖形之上的部分均位于所述非交疊區域內；

形成所述第一光束和所述第二光束的光學系統包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于將入射的一束平行光分為沿不同方向傳播的第一平行光和第二平行光；所述分束器件包括入射面、第一出射面以及第二出射面；所述第一出射面、所述第二出射面分別相對于所述入射面傾斜設置，且所述第一出射面與所述第二出射面相交形成交線，所述第一出射面、所述第二出射面分別自所述交線向背離所述入射面的方向延伸；所述入射的一束平行光入射所述入射面，所述第一平行光從所述第一出射面出射，所述第二平行光從所述第二出射面出射；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分別用于改變所述第一平行光和所述第二平行光的傳播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

2.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一光束和所述第二光束來自于分束器件對一束平行光的分束。

3.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述形成所述第一光束和所述第二光束的光學系統還包括第一平面鏡、蠅眼透鏡、凹面鏡和第二平面鏡，其中：

所述第一平面鏡用于將光源發出的光反射至所述蠅眼透鏡的入光面；

所述凹面鏡用于將從所述蠅眼透鏡出射的光線通過反射為平行光；

所述第二平面鏡用于將來自所述凹面鏡的平行光反射，以形成入射所述分束器件的一束平行光。

4.根據權利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述使用第一光束和第二光束透過掩膜板對所述感光膠進行曝光，以通過包括顯影的過程形成彩膜層，包括：

使用第一光束和第一掩膜板對所述交疊區域和第一非交疊區域內的感光膠進行曝光；

使用第二光束和第二掩膜板對所述交疊區域和第二非交疊區域內的感光膠進行曝光。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一光束與所述第二光束具有相同的光強；所述第一光束的傳播方向與基板之間的夾角等于所述第二光束的傳播方向與基板之間的夾角。

6.一種曝光設備，其特征在于，包括平面光源、分束機構、掩膜板放置機構和基板放置機構；其中，所述分束機構用于將來自所述平面光源的一束平行光分束為沿不同方向傳播的第一光束和第二光束，并分別以預設角度透過由所述掩膜板放置機構所確定的掩膜板平面，照射在由所述基板放置機構所確定的基板曝光平面上；

所述分束機構包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于將入射的一束平行光分為沿不同方向傳播的第一平行光和第二平行光；所述分束器件包括入射面、第一出射面以及第二出射面；所述第一出射面、所述第二出射面分別相對于所述入射面傾斜設置，且所述第一出射面與所述第二出射面相交形成交線，所述第一出射面、所述第二出射面分別自所述交線向背離所述入射面的方向延伸；所述入射的一束平行光入射所述入射面，所述第一平行光從所述第一出射面出射，所述第二平行光從所述第二出射面出射；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分別用于改變所述第一平行光和所述第二平行光的傳播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

7.一種彩膜基板，其特征在于，所述彩膜基板由權利要求1至5中任意一項所述的彩膜基板的制作方法形成。

8.一種顯示裝置，其特征在于，所述顯示裝置包括如權利要求7所述的彩膜基板。