[發明專利]一種用于制備電池片的生產系統有效
| 申請號: | 201610150436.8 | 申請日: | 2016-03-16 |
| 公開(公告)號: | CN105789104B | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 范啟超;徐兆遠 | 申請(專利權)人: | 浙江晶能光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司: | 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
| 地址: | 314406 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 制備 電池 生產 系統 | ||
技術領域
本發明涉及一種用于制備電池片的生產系統。
背景技術
太陽電池是一種對光有響應并能將光能轉換成電力的器件。太陽能電池是以半導體材料為基礎的一種具有能量轉換功能的半導體器件,是太陽能光伏發電的最核心的器件。
經檢索,如中國專利文獻公開了一種快速清洗裝置【申請號:201520753687.6;公開號:CN 205056521U】。這種快速清洗裝置,其特征在于,包括清洗箱體,噴淋機構、傳動機構和儲液箱體,所述清洗箱體和所述儲液箱體之間設有排液管和回流管,所述排液管和回流管均一端插入所述清洗箱體內,且另一端插入所述儲液箱體內,所述噴淋機構和所述傳動機構均安裝在所述清洗箱體內,所述噴淋機構分為上噴淋機構和下噴淋機構,所述上噴淋機構包含有上噴管和用于調節液體流速的上調節閥門,所述上噴管上設有上孔洞,所述上孔洞的數量為1個或多個,所述下噴淋機構包含有下噴管和用于調節液體流速的下調節閥門,所述下噴管上設有下孔洞,所述下孔洞的數量為1個或多個,所述傳動機構位于上噴淋機構和下噴淋機構之間,所述傳動機構托載待清洗件。
該專利中公開的清洗裝置雖然清洗效果好,但是,該清洗裝置結構簡單,不能連續對其進行擴散、刻蝕、刮涂和燒結,生產速度慢,因此,設計出一種用于制備電池片的生產系統是很有必要的。
發明內容
本發明的目的是針對現有的技術存在上述問題,提出了一種用于制備電池片的生產系統,該生產系統具有生產效率高的特點。
本發明的目的可通過下列技術方案來實現:一種用于制備電池片的生產系統,包括底座,其特征在于,所述底座上設置有工作臺,工作臺與一能帶動其上下升降的升降結構相連,工作臺上依次設置有擴散裝置、刻蝕裝置、清洗裝置、刮涂裝置和燒結裝置;升降結構包括導柱、導套和氣缸,導柱固定在底座上,導套固定在工作臺上,導套滑動套接在導柱上,氣缸的缸體固定在底座上,氣缸的活塞桿豎直向上,氣缸的活塞桿端部和工作臺相連。
本生產系統的工作原理如下:控制氣缸的活塞桿上下移動,氣缸的活塞桿帶動工作臺上下移動,可使工作臺能適用于不同使用高度的需求,適應性強;通過擴散裝置對制絨好的硅片進行擴散,通過刻蝕裝置對硅片進行刻蝕,通過清洗裝置對硅片進行清洗,通過刮涂裝置對硅片進行刮涂,通過燒結裝置對硅片進行燒結,可實現連續不間斷生產,生產效率高。
所述擴散裝置包括石英管,石英管設置在工作臺上,石英管內設置有石英舟,石英舟包括兩個相對設置的第一支架、兩個底部定位桿和兩個側部定位桿,兩個底部定位桿分別與兩個第一支架的底邊相固定,兩個側部定位桿分別與兩個第一支架的兩個側邊相固定,所述第一支架呈U形,第一支架包括橫桿和兩個豎桿,兩個豎桿分別設置在橫桿的兩端,豎桿與橫桿之間設置有調節機構,調節機構包括開設在橫桿上的導向槽、呈T形的導向塊和第一定位件,導向塊一端和豎桿相固定,導向塊另一端設置在導向槽中,且導向塊能沿導向槽水平移動,橫桿上還開設有若干定位孔,且定位孔和導向槽相貫通,導向塊上開設有定位槽,且定位槽能與任意一個定位孔相貫通,第一定位件依次穿設在定位槽和定位孔中;兩個側部定位桿相對的一側設有若干第一放置槽,兩個底部定位桿的上側設有與第一放置槽相匹配的第二放置槽,第一放置槽和第二放置槽的截面均為V形。
該擴散裝置的過程如下:將硅片插在石英舟上,將石英舟送入石英管,可對其進行擴散;通過將導向塊沿導向槽水平移動,導向塊帶動豎桿水平移動,豎桿帶動側部定位桿移動,將側部定位桿調節到所需位置,將第一定位件依次穿設在定位槽和定位孔中,將豎桿固定在橫桿上,可使其能定位不同規格的硅片,通用性強;第一放置槽和第二放置槽的截面均為V形,采用該結構,可使其能適應不同厚度的硅片,實用性強。
所述相鄰的兩個第一放置槽的間距為2.25mm~2.35mm。
所述第一定位件的材料為石英。
所述第一支架上設置有若干用于搬運的吊環。
所述第一支架上還設置有第一滾輪,第一滾輪與一能帶動其擺動的第一擺動機構相連。
采用以上結構,通過第一滾輪的滾動,可方便第一支架的水平移動,操作省力。
所述第一擺動機構包括第一擺動桿和限位塊,第一擺動桿一端和第一支架相鉸接,第一擺動桿另一端和第一滾輪相連接,限位塊固定在第一支架上,且第一擺動桿能和限位塊相抵靠。
當需要使用第一滾輪時,轉動第一擺動桿,第一擺動桿帶動第一滾輪擺動,將第一滾輪放下,通過限位塊對第一擺動桿進行限位;當不需要使用第一滾輪時,轉動第一擺動桿,第一擺動桿帶動第一滾輪擺動,將第一滾輪收起。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江晶能光電有限公司,未經浙江晶能光電有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610150436.8/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:半導體器件及其制造方法
- 下一篇:一種提高晶片處理良率的蝕刻裝置及其蝕刻方法
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





