[發明專利]一種用于制備電池片的生產系統有效
| 申請號: | 201610150436.8 | 申請日: | 2016-03-16 |
| 公開(公告)號: | CN105789104B | 公開(公告)日: | 2018-03-16 |
| 發明(設計)人: | 范啟超;徐兆遠 | 申請(專利權)人: | 浙江晶能光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司: | 嘉興永航專利代理事務所(普通合伙)33265 | 代理人: | 蔡鼎 |
| 地址: | 314406 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 制備 電池 生產 系統 | ||
1.一種用于制備電池片的生產系統,包括底座,其特征在于,所述底座上設置有工作臺,工作臺與一能帶動其上下升降的升降結構相連,工作臺上依次設置有擴散裝置、刻蝕裝置、清洗裝置、刮涂裝置和燒結裝置;升降結構包括導柱、導套和氣缸,導柱固定在底座上,導套固定在工作臺上,導套滑動套接在導柱上,氣缸的缸體固定在底座上,氣缸的活塞桿豎直向上,氣缸的活塞桿端部和工作臺相連;所述擴散裝置包括石英管,石英管設置在工作臺上,石英管內設置有石英舟,石英舟包括兩個相對設置的第一支架、兩個底部定位桿和兩個側部定位桿,兩個底部定位桿分別與兩個第一支架的底邊相固定,兩個側部定位桿分別與兩個第一支架的兩個側邊相固定,所述第一支架呈U形,第一支架包括橫桿和兩個豎桿,兩個豎桿分別設置在橫桿的兩端,豎桿與橫桿之間設置有調節機構,調節機構包括開設在橫桿上的導向槽、呈T形的導向塊和第一定位件,導向塊一端和豎桿相固定,導向塊另一端設置在導向槽中,且導向塊能沿導向槽水平移動,橫桿上還開設有若干定位孔,且定位孔和導向槽相貫通,導向塊上開設有定位槽,且定位槽能與任意一個定位孔相貫通,第一定位件依次穿設在定位槽和定位孔中;兩個側部定位桿相對的一側設有若干第一放置槽,兩個底部定位桿的上側設有與第一放置槽相匹配的第二放置槽,第一放置槽和第二放置槽的截面均為V形;所述第一定位件的材料為石英;所述第一支架上設置有若干用于搬運的吊環;所述第一支架上還設置有第一滾輪,第一滾輪與一能帶動其擺動的第一擺動機構相連;所述第一擺動機構包括第一擺動桿和限位塊,第一擺動桿一端和第一支架相鉸接,第一擺動桿另一端和第一滾輪相連接,限位塊固定在第一支架上,且第一擺動桿能和限位塊相抵靠;所述刻蝕裝置包括機架,機架設置在工作臺上,機架上固定有刻蝕箱,機架上還固定有工作箱,工作箱通過伸縮管和刻蝕箱相連通;工作箱內固定有放電電極,所述工作箱內設置有用于對其進行冷卻的風扇,風扇與一能帶動其轉動的第一動力機構相連,第一動力機構包括驅動電機、第二擺動桿和定位板,定位板設置在工作箱內,定位板與一能帶動其上下移動的移動機構相連,驅動電機固定在定位板上,驅動電機的輸出軸豎直向上,驅動電機的輸出軸和第二擺動桿一端相鉸接,驅動電機的輸出軸與第二擺動桿的鉸接處設有角度限位塊,第二擺動桿另一端和風扇相固定;移動機構包括驅動氣缸和第一安裝板,驅動氣缸的缸體固定在機架上,驅動氣缸的活塞桿豎直向上,驅動氣缸的活塞桿端部伸入工作箱內和第一安裝板相固定,定位板設置在第一安裝板上,定位板和第一安裝板之間設置有第一彈簧,第一彈簧一端和定位板相連,第一彈簧另一端和第一安裝板相連。
2.根據權利要求1所述的用于制備電池片的生產系統,其特征在于,所述機架上還設置有能檢測工作箱內溫度的測溫機構;所述測溫機構包括第一控制器、溫度傳感器、第一推桿電機、第一導軌和第一滑塊,第一導軌豎直固定在工作箱內,第一滑塊設置在第一導軌上,第一推桿電機固定在機架上,第一推桿電機的推桿豎直向上,第一推桿電機的推桿端部和第一滑塊相連,溫度傳感器通過連桿固定在第一滑塊上,顯示屏固定在機架上,第一推桿電機、溫度傳感器和顯示屏均與該第一控制器相連;所述驅動氣缸與上述第一控制器相連。
3.根據權利要求2所述的用于制備電池片的生產系統,其特征在于,所述機架上還設置有第二滾輪,第二滾輪與一能帶動其擺動的第二擺動機構相連;所述第二擺動機構包括第一連接桿和定位螺栓,第一連接桿一端和機架相鉸接,第一連接桿另一端和第二滾輪相連接,定位螺栓螺紋連接在第一連接桿上,且定位螺栓端部能抵靠機架上。
4.根據權利要求1所述的用于制備電池片的生產系統,其特征在于,所述刮涂裝置包括定位架,定位架設置在工作臺上,定位架上設置有斜刮刀,斜刮刀包括刮條、安裝件和刀架,所述刮條的截面為正方形,刮條通過一可拆卸結構設置在安裝件上,安裝件設置在刀架上,安裝件與一能帶動其擺動的第三擺動機構相連,第三擺動機構包括第二推桿電機和第三擺動桿,第三擺動桿一端和刀架相鉸接,第三擺動桿另一端和安裝件相固連,第二推桿電機鉸接在刀架上,第二推桿電機的推桿傾斜設置,第二推桿電機的推桿端部和第三擺動桿中部相鉸接,刀架上還設置有角度指示機構;所述刮條的材料為橡膠;所述安裝件的材料為不銹鋼,安裝件上還具有若干加強條;所述可拆卸結構包括開設在安裝件上的安裝槽和定位螺釘,刮條能插入到安裝槽中,定位螺釘螺紋連接在安裝件上,且定位螺釘的端部能抵靠在刮條上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





