[發(fā)明專利]柔性電子器件及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610150011.7
• 申請日: 2016-03-16
• 公開（公告）號: CN107204342B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設計）人: 單奇;胡坤;林立;蔡世星;劉勝芳
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;G09F9/30
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余毅勤

1.一種柔性電子器件，其特征在于，包括：一柔性基板以及形成于所述柔性基板上的器件層；

所述器件層包括相互連接的半導體結構和第一導線結構，所述半導體結構為薄膜晶體管，所述第一導電結構為互連線，所述第一導線結構的延伸方向與所述半導體結構的溝道方向一致；

所述第一導線結構的延伸方向與所述柔性基板的拉伸方向形成小于90°的夾角。

2.如權利要求1所述的柔性電子器件，其特征在于，所述第一導線結構的延伸方向與所述柔性基板的拉伸方向所形成的夾角范圍在40°～70°之間。

3.如權利要求1所述的柔性電子器件，其特征在于，所述器件層還包括第二導線結構，所述第二導線結構設置于所述柔性基板的邊緣，且所述第二導線結構的延伸方向與所述柔性基板的邊緣線平行。

4.如權利要求3所述的柔性電子器件，其特征在于，所述第二導線結構上設置有多個通孔，所述通孔的形狀為平行四邊形，所述平行四邊形的對角線與所述柔性基板的拉伸方向一致。

5.如權利要求1所述的柔性電子器件，其特征在于，所述柔性電子器件為柔性平板顯示器件，所述柔性平板顯示器件具有多個像素單元，所述像素單元的邊界線圖形為平行四邊形，所述平行四邊形的對角線與所述柔性基板的拉伸方向一致。

6.如權利要求4或5所述的柔性電子器件，其特征在于，所述平行四邊形的四條邊與其對角線所形成的夾角范圍在40°～70°之間。

7.如權利要求5所述的柔性電子器件，其特征在于，所述柔性電子器件為柔性液晶顯示器。

8.如權利要求5所述的柔性電子器件，其特征在于，所述柔性電子器件為柔性有機發(fā)光顯示器。

9.一種柔性電子器件的制造方法，其特征在于，包括：

提供一柔性基板；以及

在所述柔性基板上分別形成半導體結構和第一導線結構，所述半導體結構為薄膜晶體管，所述第一導電結構為互連線，所述半導體結構的溝道方向與所述第一導線結構的延伸方向一致，并與所述柔性基板的拉伸方向形成小于90°的夾角。

10.一種柔性電子器件的制造方法，其特征在于，包括：

提供一柔性基板；以及

在所述柔性基板上分別形成多個像素單元、第一導線結構和第二導線結構；其中，所述像素單元具有半導體結構，所述半導體結構為薄膜晶體管，所述第一導電結構為互連線，所述半導體結構的溝道方向與所述第一導線結構的延伸方向一致，并與所述柔性基板的拉伸方向形成小于90°的夾角；

所述第二導線結構設置于所述柔性基板的邊緣，所述第二導線結構的延伸方向與所述柔性基板的邊緣線平行，所述第二導線結構上形成有多個通孔，所述通孔的形狀為平行四邊形，所述平行四邊形的對角線與所述柔性基板的拉伸方向一致。