[發(fā)明專利]掩膜板、陣列基板、液晶顯示裝置及形成通孔的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610140255.7
• 申請(qǐng)日: 2016-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN105589274B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 貝亮亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368;G03F1/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆;胡彬

本發(fā)明提供一種掩膜版，包括：第一透光孔，沿行列均勻排布；至少一個(gè)第二透光孔，設(shè)置于同一行相鄰所述第一透光孔之間；所述第二透光孔的面積小于所述第一透光孔面積。根據(jù)本發(fā)明提供的裝置及方法，通過(guò)使用本發(fā)明提供的掩膜版，在第二透光孔對(duì)應(yīng)位置形成過(guò)渡區(qū)，使得同一行內(nèi)相鄰?fù)组g的過(guò)渡區(qū)變得平坦，從而使得柱狀間隔物站立的更加穩(wěn)定，不會(huì)滑入有機(jī)絕緣膜的通孔中，解決了現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示器的陣列基板上由于有機(jī)絕緣膜不平坦而導(dǎo)致的柱狀間隔物容易滑入通孔內(nèi)的問(wèn)題，從而避免了由此產(chǎn)生的液晶顯示器色偏、漏光的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種掩膜版；一種陣列基板；一種液晶顯示裝置；及一種用于在有機(jī)絕緣膜中形成通孔的方法。

背景技術(shù)

在液晶顯示裝置中，液晶層通常被設(shè)置在陣列基板和彩膜基板之間。在將陣列基板與彩膜基板結(jié)合到一起時(shí)，為了控制液晶層的厚度，需在兩片基板之間設(shè)置柱狀間隔物加以支撐。同時(shí)，設(shè)置的柱狀間隔物還可以使得液晶顯示裝置在受到外力壓迫時(shí)能夠恢復(fù)原狀，起到保護(hù)液晶顯示裝置的作用。

如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示裝置的俯視圖，可以看出柱狀間隔物111的設(shè)置區(qū)域位于垂直黑矩陣105和水平黑矩陣106交叉處。圖1中，與垂直黑矩陣105平行的是數(shù)據(jù)線102，與水平黑矩陣106平行的是掃描線103。數(shù)據(jù)線102與掃描線103圍成的區(qū)域?yàn)橄袼仫@示區(qū)域，其中設(shè)置了一層像素電極層104。

圖2是現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示裝置的剖面圖，其中，彩膜基板107和陣列基板108相對(duì)設(shè)置，在陣列基板108的表面覆蓋了一層有機(jī)絕緣膜109，在有機(jī)絕緣膜109內(nèi)設(shè)置有通孔110。通孔110是為了使得覆蓋在有機(jī)絕緣膜109上的像素電極層104能夠與有機(jī)絕緣膜109覆蓋的漏極113形成金屬接觸。柱狀間隔物111位于陣列基板108和彩膜基板107之間，起到保護(hù)和支撐的作用。現(xiàn)有技術(shù)中，一般將柱狀間隔物111的固定端設(shè)置在彩膜基板107的內(nèi)側(cè)，柱狀間隔物111的自由端朝向陣列基板108的一側(cè)。

柱狀間隔物111在陣列基板108上的設(shè)置區(qū)域位于兩個(gè)相鄰的通孔110之間，一般位于源極114上方。由于液晶顯示器的像素密度越來(lái)越高，相鄰?fù)?10之間的間距越來(lái)越小，有機(jī)絕緣膜109的平坦化程度也同時(shí)降低，此時(shí)液晶顯示器受到外力作用時(shí)，由于柱狀間隔物111站立的位置不平坦，所述柱狀間隔物111很容易滑入通孔110內(nèi)，導(dǎo)致所述柱狀間隔物111所對(duì)應(yīng)區(qū)域的陣列基板108和彩膜基板107之間的距離減小，影響了液晶分子在該區(qū)域的正常排布，使得液晶顯示器產(chǎn)生色偏、漏光等缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種掩膜版，包括：第一透光孔，沿行列均勻排布；至少一個(gè)第二透光孔，設(shè)置于同一行相鄰所述第一透光孔之間；所述第二透光孔的面積小于所述第一透光孔面積。

本發(fā)明還提供一種用上述掩膜版形成通孔的方法，包括：提供一基板；在所述基板上形成多個(gè)薄膜晶體管，所述多個(gè)薄膜晶體管分別包括源極和漏極；在所述多個(gè)薄膜晶體管上形成覆蓋所述多個(gè)薄膜晶體管的有機(jī)絕緣膜；利用上述掩膜板對(duì)所述有機(jī)絕緣膜進(jìn)行曝光；刻蝕所述有機(jī)絕緣膜形成行列均勻排布通孔，同時(shí)在所述有機(jī)絕緣膜同一行內(nèi)相鄰的所述通孔間形成過(guò)渡區(qū)，所述通孔暴露出所述漏極；在所述有機(jī)絕緣膜上形成像素電極層，所述像素電極層通過(guò)所述通孔與所述漏極接觸。

本發(fā)明還提供一種陣列基板，包括基板；多個(gè)薄膜晶體管，所述薄膜晶體管設(shè)置在所述基板上，所述多個(gè)薄膜晶體管分別包含源極和漏極；有機(jī)絕緣膜，所述有機(jī)絕緣膜覆蓋所述多個(gè)薄膜晶體管，所述有機(jī)絕緣膜上有行列均勻排布的通孔，同時(shí)在所述有機(jī)絕緣膜同一行內(nèi)相鄰的所述通孔間有過(guò)渡區(qū)，所述通孔暴露所述多個(gè)薄膜晶體管的漏極，且所述過(guò)渡區(qū)是通過(guò)上述方法形成；像素電極層，所述像素電極層通過(guò)所述通孔與所述漏極接觸。

本發(fā)明還提供一種液晶顯示裝置，所述液晶顯示裝置包括上述陣列基板，還包括彩膜基板，所述陣列基板和彩膜基板相對(duì)密封設(shè)置，在所述陣列基板和所述彩膜基板之間設(shè)置有液晶層；所述液晶顯示裝置還包括設(shè)置在所述陣列基板和所述彩膜基板之間的柱狀間隔物，所述柱狀間隔物位于所述過(guò)渡區(qū)區(qū)域內(nèi)。