[發(fā)明專利]掩膜板、陣列基板、液晶顯示裝置及形成通孔的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610140255.7
• 申請(qǐng)日: 2016-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN105589274B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 貝亮亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門天馬微電子有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;G02F1/1368;G03F1/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆;胡彬

1.一種用于形成陣列基板的掩膜板，其特征在于，用于在所述陣列基板上的有機(jī)絕緣膜上形成通孔，包括：

第一透光孔，沿行列均勻排布，所述第一透光孔與所述陣列基板上薄膜晶體管的漏極對(duì)應(yīng)設(shè)置；所述第一透光孔用于形成通孔，所述通孔暴露所述薄膜晶體管的漏極；

至少一個(gè)第二透光孔，設(shè)置于同一行相鄰所述第一透光孔之間；

所述第二透光孔的面積小于所述第一透光孔面積；

所述第二透光孔用于在同一行相鄰所述通孔間形成過渡區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，每個(gè)所述第一透光孔的圖案是圓形、橢圓形、菱形、矩形或正M邊形，其中M是大于等于3的自然數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，每個(gè)所述第二透光孔的圖案是圓形、橢圓形、菱形、矩形或正N邊形，其中N是大于等于3的自然數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二透光孔的孔徑或任意兩頂點(diǎn)間最長(zhǎng)距離設(shè)置為小于等于1.5微米。

5.一種利用權(quán)利要求1-4任一所述的掩膜板形成通孔的方法，包括：

提供一基板；

在所述基板上形成多個(gè)薄膜晶體管，所述多個(gè)薄膜晶體管分別包括源極和漏極；

在所述多個(gè)薄膜晶體管上形成覆蓋所述多個(gè)薄膜晶體管的有機(jī)絕緣膜；

利用權(quán)利要求1-4任一所述的掩膜板對(duì)所述有機(jī)絕緣膜進(jìn)行曝光；

刻蝕所述有機(jī)絕緣膜，掩膜版上的第一透光孔對(duì)應(yīng)區(qū)域形成行列均勻排布的通孔，所述通孔用于暴露所述漏極，掩膜版上的第二透光孔對(duì)應(yīng)區(qū)域形成過渡區(qū)；

在所述有機(jī)絕緣膜上形成像素電極層，所述像素電極層通過所述通孔與所述漏極接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述有機(jī)絕緣膜是有機(jī)材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述有機(jī)絕緣膜的材料是聚酰亞胺樹脂、聚乙烯、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯中的一種。

8.一種陣列基板，其特征在于，包括：基板；多個(gè)薄膜晶體管，所述薄膜晶體管設(shè)置在所述基板上，所述多個(gè)薄膜晶體管分別包含源極和漏極；有機(jī)絕緣膜，所述有機(jī)絕緣膜覆蓋所述多個(gè)薄膜晶體管，所述有機(jī)絕緣膜上有行列均勻排布的通孔，同時(shí)在所述有機(jī)絕緣膜同一行內(nèi)相鄰的所述通孔間有過渡區(qū)，所述通孔暴露所述多個(gè)薄膜晶體管的漏極，且所述通孔是通過權(quán)利要求5-7任一所述的方法形成；像素電極層，所述像素電極層通過所述通孔與所述漏極接觸。

9.一種液晶顯示裝置，其特征在于，所述液晶顯示裝置包括如權(quán)利要求8所述的陣列基板，還包括彩膜基板，所述陣列基板和所述彩膜基板相對(duì)密封設(shè)置，在所述陣列基板和所述彩膜基板之間設(shè)置有液晶層；所述液晶顯示裝置還包括設(shè)置在所述陣列基板和所述彩膜基板之間的柱狀間隔物，所述柱狀間隔物位于所述過渡區(qū)區(qū)域內(nèi)。