[發明專利]OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備

有效

• 申請號: 201610139686.1
• 申請日: 2016-03-11
• 公開（公告）號: CN107179654B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 洪定洋
• 申請（專利權）人: 上海和輝光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海隆天律師事務所 31282
• 代理人: 臧云霄;鐘宗

本發明提供了一種OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備，所述OLED面板具有包括一第一側和相對所述第一側的一第二側的基板，顯影方法包括以下步驟：從所述基板的所述第一側向所述第二側噴布顯影液進行顯影，其中所述基板處于水平狀態；顯影完成后，抬起所述基板的所述第一側，使所述基板的所述第一側水平位置高于所述第二側；以及從所述基板的所述第二側向所述第一側進行水洗，以清除所述基板上的所述顯影液。本發明通過調節顯影液在面板上的停留時間，從而控制面板從第一側到第二側之間的光阻圖案的線型的粗細，以此補償OLED面板兩側的電壓降，保證OLED面板的亮度均勻。

技術領域

本發明涉及OLED面板制程領域，尤其涉及一種OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備。

背景技術

現有技術的OLED面板制程中需要在一個玻璃大板上同時制作多塊OLED面板，OLED面板呈矩陣排列在玻璃大板上?，F有技術的OLED面板的顯影方法中包含噴布顯影液和水洗兩個步驟，會由噴布顯影液的設備從玻璃大板的一側向另一個進行噴布，并且水洗設備也會從玻璃大板的一側向另一個進行水洗，洗去顯影液。

目前的顯影方法中噴布顯影液的進行方向A與水洗的進行方向B是相同的。圖1為現有技術的OLED面板的顯影方法的流程圖。如圖1所示，現有的OLED面板的顯影方法的流程包括以下步驟

步驟S10’：從基板的第一側H向第二側L噴布顯影液進行顯影，所述基板處于水平狀態。

步驟S20’：顯影完成后，抬起所述基板的第一側H(參見圖2，抬高基板的方向為C)，使所述基板相對于水平面傾斜。

步驟S30’：從基板的第一側H向第二側L進行水洗，清除顯影液。

圖2為現有技術的OLED面板顯影過程中的示意圖。圖3為現有技術的OLED面板顯影過程中的俯視圖。如圖2和3所示，在這一過程中，所述水洗的進行方向B與所述噴布顯影液的進行方向A相同。通過現有技術的制程的OLED面板10’包括：第一側H和相對的第二側L，所述第一側H設有集成電路20’。OLED面板10’的顯示效果證明，這種結構下，靠近集成電路20’的電壓較高導致相應的亮度升高，遠離集成電路20’的電壓較低導致相應的亮度也降低，使得OLED面板10’的兩側之間形成電壓降，造成亮度不均勻，影響OLED面板10’的質量。

有鑒于此，發明人提供了一種能夠補償OLED面板兩側的電壓降的OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備。

發明內容

針對現有技術中的缺陷，本發明的目的在于提供一種OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備，克服現有技術的困難，能夠補償OLED面板兩側的電壓降，保證OLED面板的亮度均勻。

根據本發明的一個方面，提供一種OLED面板的顯影方法，所述OLED面板具有包括一第一側和相對所述第一側的一第二側的基板，包括以下步驟：

步驟(1)：從所述基板的所述第一側向所述第二側噴布顯影液進行顯影，其中所述基板處于水平狀態；

步驟(2)：顯影完成后，抬起所述基板的所述第一側，使所述基板的所述第一側水平位置高于所述第二側；以及

步驟(3)：從所述基板的所述第二側向所述第一側進行水洗，以清除所述基板上的所述顯影液。

優選地，所述步驟(1)中，所述基板上具有經過曝光的光阻圖案。

優選地，所述步驟(2)中，所述基板與水平面之間夾角范圍是10°至30°。

優選地，所述基板與水平面之間夾角是20°。

優選地，所述步驟(3)中，水洗的碰灑方向平行于基板。