[發(fā)明專利]OLED面板的顯影方法、OLED面板以及制造設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610139686.1 | 申請日： | 2016-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN107179654B | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 洪定洋 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海隆天律師事務所 31282 | 代理人： | 臧云霄;鐘宗 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | oled 面板 顯影 方法 以及 制造 設備 | ||
1.一種OLED面板的顯影方法，所述OLED面板具有包括一第一側和相對所述第一側的一第二側的基板，其特征在于，包括以下步驟：
步驟(1)：從所述基板的所述第一側向所述第二側噴布顯影液進行顯影，其中所述基板處于水平狀態(tài)；
步驟(2)：顯影完成后，抬起所述基板的所述第一側，使所述基板的所述第一側水平位置高于所述第二側；以及
步驟(3)：從所述基板的所述第二側向所述第一側進行水洗，以清除所述基板上的所述顯影液。
2.如權利要求1所述的OLED面板的顯影方法，其特征在于：所述步驟(1)中，所述基板上具有經(jīng)過曝光的光阻圖案。
3.如權利要求1所述的OLED面板的顯影方法，其特征在于：所述步驟(2)中，所述基板與水平面之間夾角范圍是10°至30°。
4.如權利要求3所述的OLED面板的顯影方法，其特征在于：所述基板與水平面之間夾角是20°。
5.如權利要求1所述的OLED面板的顯影方法，其特征在于：所述步驟(3)中，水洗的噴灑方向平行于基板。
6.一種OLED面板，其特征在于，由如權利要求1至5中任意一項所述的OLED面板的顯影方法制得，包括：第一側和相對的第二側，所述第一側設有集成電路，其中，越靠近所述第一側的光阻圖案的線型寬度越細，越靠近所述第二側的光阻圖案的線型寬度越寬。
7.如權利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述第一側與所述第二側之間的電壓降為零。
8.如權利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述集成電路連接一移動終端的主板。
9.一種OLED面板制造設備，其特征在于，包括一顯影液噴布裝置和一水洗裝置；
從基板的第一側向第二側噴布顯影液進行顯影，顯影完成后，抬起所述基板的所述第一側，使所述基板的所述第一側水平位置高于所述第二側,從所述基板的所述第二側向所述第一側進行水洗。
10.如權利要求9所述的OLED面板制造設備，其特征在于：更包括一抬舉裝置，所述抬舉裝置用以抬起所述OLED面板的一側，使所述OLED面板的平面與水平面呈現(xiàn)一夾角。
11.如權利要求10所述的OLED面板制造設備，其特征在于：所述夾角為10°至30°。
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