[發明專利]一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室

有效

• 申請號: 201610130407.5
• 申請日: 2016-03-08
• 公開（公告）號: CN105632876B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 孫安;范義奎;張力平
• 申請（專利權）人: 江蘇德佐電子科技有限公司
• 主分類號: H01J49/40
• 分類號: H01J49/40;H01J49/02
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231
• 代理人: 翁斌

技術領域

本發明涉及測量實驗設備領域，特別是涉及一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室。

背景技術

當電子與原子碰撞時，入射電子與靶原子內部的電子和原子核之間的相互作用主要是庫侖相互作用。入射電子與靶原子之間可以進行動量和能量交換，碰撞前后的總動量和總能量分別守恒，由于進行了動量交換，被散射的電子將從碰撞中心以不同角度射出；由于進行了能量交換，被散射的電子將損失或獲得一定的動能。電子與原子的碰撞一般可分為無輻射碰撞和有輻射碰撞兩大類。

負離子與四氟化碳碰撞過程會發生以下一些反應：

在反應的過程當中除了會產生散射離子、反沖離子，也會產生電子，包括從負離子上脫附出來的和從靶分子上電離出來的，但是目前我們的系統無法探測電子。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，其設計合理，結構簡單，解決了同時探測反沖離子和反沖電子的問題。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是提供一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，包括腔室本體；所述腔室本體上設有反沖離子探測口、電子探測口、分子泵安裝口、注氣針閥安裝口、系統連接口、進氣口、真空規接口和飛行時間譜儀檢測口；所述分子泵安裝口開設于所述腔室本體的下側；所述注氣針閥安裝口、飛行時間譜儀檢測口均開設于所述腔室本體的上側；所述注氣針閥安裝口和分子泵安裝口設置于同一豎直軸線上；所述飛行時間譜儀檢測口位于注氣針閥安裝口的側邊。

優選的是，所述飛行時間譜儀檢測口設有兩個；沿著腔室本體的流道方向，兩個飛行時間譜儀檢測口分別位于所述注氣針閥安裝口的前、后兩側。

優選的是，所述系統連接口貫穿所述腔室本體形成豎直平面上的法向流道。

本發明的有益效果是：提供一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，將現有技術中安裝分子泵的地方安裝一個探測器，用于探測電子；將分子泵安裝在原來的注氣針閥處，處于整個腔室的下面，便于安裝也較穩當。

附圖說明

圖1是本發明一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室的結構示意圖；

附圖中各部件的標記如下：1、腔室本體；2、反沖離子探測口；3、電子探測口；4、分子泵安裝口；5、注氣針閥安裝口；6、系統連接口；7、進氣口；8、真空規接口；9、飛行時間譜儀檢測口。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發明的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

請參閱附圖1，本發明實施例包括：

一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，包括腔室本體1；所述腔室本體1上設有反沖離子探測口2、電子探測口3、分子泵安裝口4、注氣針閥安裝口5、系統連接口6、進氣口7、真空規接口8和飛行時間譜儀檢測口9；腔室本體1的兩端，一端為所述反沖離子探測口2，另一端為電子探測口3；這里的電子探測口3原來用于安裝分子泵，現在用來安裝電子探測儀便于探測電子。而分子泵安裝口開設于所述腔室本體的下側，該分子泵安裝口用于安裝分子泵，替換現有技術中此位置安裝的注氣針閥；而注氣針閥則安裝到腔室本體1的上側位置；因此，所述注氣針閥安裝口5、飛行時間譜儀檢測口9均開設于所述腔室本體的上側；所述注氣針閥安裝口5和分子泵安裝口4設置于同一豎直軸線上；所述飛行時間譜儀檢測口9位于注氣針閥安裝口5的側邊。所述飛行時間譜儀檢測口9設有兩個；沿著腔室本體1的流道方向，兩個飛行時間譜儀檢測口9分別位于所述注氣針閥安裝口5的前、后兩側。所述系統連接口6貫穿所述腔室本體1形成豎直平面上的法向流道。本碰撞腔室，將原來安裝分子泵的地方安裝一個探測器，用于探測電子；將分子泵安裝在原來的注氣針閥處，處于整個腔室的下面，便于安裝也較穩當；而且在腔室的上方開口，安裝注氣針閥。

以上所述僅為本發明的實施例，并非因此限制本發明的專利范圍，凡是利用本發明說明書內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發明的專利保護范圍內。