[發明專利]一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室

有效

• 申請號: 201610130407.5
• 申請日: 2016-03-08
• 公開（公告）號: CN105632876B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發明（設計）人: 孫安;范義奎;張力平
• 申請（專利權）人: 江蘇德佐電子科技有限公司
• 主分類號: H01J49/40
• 分類號: H01J49/40;H01J49/02
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231
• 代理人: 翁斌

1.一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，其特征在于：包括腔室本體(1)；所述腔室本體(1)上設有反沖離子探測口(2)、電子探測口(3)、分子泵安裝口(4)、注氣針閥安裝口(5)、系統連接口(6)、進氣口(7)、真空規接口(8)和飛行時間譜儀檢測口(9)；所述分子泵安裝口(4)開設于所述腔室本體(1)的下側；所述注氣針閥安裝口(5)、飛行時間譜儀檢測口(9)均開設于所述腔室本體(1)的上側；所述注氣針閥安裝口(5)和分子泵安裝口(4)設置于同一豎直軸線上；所述飛行時間譜儀檢測口(9)位于注氣針閥安裝口(5)的側面。

2.根據權利要求1所述的一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，其特征在于：所述飛行時間譜儀檢測口(9)設有兩個；沿著腔室本體(1)的流道方向，兩個飛行時間譜儀檢測口(9)分別位于所述注氣針閥安裝口(5)的前、后兩側。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于負離子與氣體碰撞的碰撞腔室，其特征在于：所述系統連接口(6)貫穿所述腔室本體(1)形成豎直平面上的法向流道。