[發(fā)明專(zhuān)利]蝕刻裝置、蝕刻方法以及由所述蝕刻方法所蝕刻的撓性膜

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610122347.2
• 申請(qǐng)日: 2016-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107086187B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭載潤(rùn);金基秀;曺承旻
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 韓華航空航天公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/687;H01L21/306
• 代理公司: 北京華夏博通專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種蝕刻裝置，其特征在于，所述裝置包括：

一加工槽，所述加工槽中包含蝕刻劑；

一滾筒式夾具，可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述加工槽中，在其上形成有一薄膜的一撓性膜卷繞所述滾筒式夾具的狀態(tài)下，所述滾筒式夾具浸泡于所述蝕刻劑中；

一滾筒式夾具驅(qū)動(dòng)器，配置成用以旋轉(zhuǎn)所述滾筒式夾具；

一載體膜，其一端耦合于所述撓性膜的一端；以及

一卷線(xiàn)滾筒，耦合于所述載體膜，并且向前或向后旋轉(zhuǎn)以卷繞或松卷所述載體膜；其中

所述滾筒式夾具還包括多個(gè)沿其外周設(shè)置的流動(dòng)導(dǎo)槽，以在所述滾筒式夾具旋轉(zhuǎn)時(shí)，朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜，產(chǎn)生所述蝕刻劑的流動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一注射噴嘴，設(shè)置在所述加工槽中，用以將所述蝕刻劑朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜噴灑；以及

一加工泵，配置成用以將所述蝕刻劑泵送至所述注射噴嘴。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一洗滌液供給單元，供給洗滌液至所述蝕刻劑排出的所述加工槽，以在卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜上進(jìn)行洗滌加工，

其中，所述加工泵設(shè)置在所述加工槽中，以泵送所述加工槽中所包含的所述蝕刻劑或所述洗滌液至所述注射噴嘴。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一蝕刻劑槽，設(shè)置與所述加工槽相鄰，以將所述蝕刻劑儲(chǔ)存于其中，

其中，在蝕刻加工中產(chǎn)生異物的所述蝕刻劑從所述加工槽溢流至所述蝕刻劑槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一循環(huán)管，連接所述加工槽與所述蝕刻劑槽，以容許所述蝕刻劑在其中流動(dòng)；以及

一蝕刻劑泵，通過(guò)所述循環(huán)管將儲(chǔ)存于所述蝕刻劑槽的所述蝕刻劑泵送至所述加工槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一干燥單元，設(shè)置在由所述載體膜所輸送的所述撓性膜的輸送路徑上，以噴灑空氣于由所述載體膜所輸送的所述撓性膜上，之后干燥所述載體膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置，其特征在于，更包括：

一洗滌單元，設(shè)置在由所述載體膜所輸送的所述撓性膜的輸送路徑上，以噴灑洗滌液于由所述載體膜所輸送的所述撓性膜上，之后洗滌所述載體膜。

8.一種蝕刻方法，其特征在于，所述方法包括：

(a)將一載體膜的一端耦合于一撓性膜的一端；

(b)卷繞所述載體膜和其上形成有一薄膜的所述撓性膜于一滾筒式夾具的周?chē)髮⒕砝@所述滾筒式夾具的所述撓性膜浸入一蝕刻劑；

(c)在所述滾筒式夾具旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過(guò)沿著所述滾筒式夾具的外周設(shè)置的多個(gè)流動(dòng)導(dǎo)槽，在卷繞所述滾筒式夾具并浸入所述蝕刻劑的所述撓性膜周?chē)a(chǎn)生所述蝕刻劑的流動(dòng)，以蝕刻所述撓性膜；

(d)在(c)的蝕刻加工后，用洗滌液洗滌所述撓性膜；以及

(e)在(d)的洗滌加工后，干燥所述撓性膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，(c)包括：

持續(xù)供給一蝕刻劑至一包含所述滾筒式夾具以及所述蝕刻劑的加工槽；以及

從所述加工槽溢流在蝕刻加工中產(chǎn)生異物的所述蝕刻劑。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，(c)中：所述滾筒式夾具旋轉(zhuǎn)且所述蝕刻劑朝向卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜噴灑，以在所述撓性膜周?chē)a(chǎn)生所述蝕刻劑的流動(dòng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，(d)中：供給所述洗滌液，以洗滌卷繞所述滾筒式夾具的所述撓性膜。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蝕刻方法，其特征在于，(d)中：供給所述洗滌液，以洗滌從所述滾筒式夾具松卷且輸送的所述撓性膜。