[發(fā)明專利]一種加熱勻膠的旋涂裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610120011.2
• 申請日: 2016-03-03
• 公開（公告）號: CN105689209B
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設計）人: 汪竹;陳建鋒;曹喜喜;萬發(fā)能
• 申請（專利權）人: 江蘇雷博科學儀器有限公司
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02;B05C9/14
• 代理公司: 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309
• 代理人: 陳強

本發(fā)明涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設置的轉軸（5），所述轉軸（5）頂部套裝有一水平設置的載物盤（1），所述轉軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導電滑環(huán)（6），所述隔熱盤（4）上安裝有加熱盤（3），所述加熱盤（3）通過導電滑環(huán)（6）與電源相連接，上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導電滑環(huán)（6）之間，且加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方。本發(fā)明涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，能夠在旋轉過程中對膠液進行加熱并對溫度進行精確控制。

技術領域

本發(fā)明涉及一種勻膠旋涂設備，尤其是涉及一種在勻膠過程中對載物盤上的膠進行加熱的勻膠旋涂設備（也即勻膠機），其用于在以硅片等材料為底材的基片上進行旋涂鍍膜，屬于半導體集成電路加工設備技術領域。

背景技術

勻膠機是半導體芯片制造工藝中非常重要的設備，勻膠機有許多常用名稱，如：涂膠機、甩膠機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂布機等，其可應用于溶膠凝膠試驗中的薄膜制作，工作原理為高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上。

目前，普通的勻膠機可以滿足大多數(shù)膠液的旋涂作業(yè)，但有些特殊的膠液需要在一定的溫度范圍內才能實現(xiàn)良好的成膜效果，并且有使用者需要在勻膠的過程中實現(xiàn)烤膠作業(yè)；所以需要一種能在加熱的狀態(tài)下進行勻膠的設備；如今市面上有內嵌式加熱（如中國專利ZL201420683426.7公開的“一種勻膠機”——其包括主體機、載片臺及用于容置載片臺的限位框，所述載片臺設于主體機的中間位置處，并與主體機內的驅動電機連接，用于驅動載片臺進行旋轉；該勻膠機進一步包括加熱機構，其主要由感應線圈組成，其中所述感應線圈固定在載片臺上，并與主體機電性連接，用于對置于載片臺上的載片進行加熱）、以及蓋子加熱（如中國專利ZL201420651955.9公開的“硅片勻膠烘干操作臺”——其包括操作臺本體、勻膠機和烘干裝置，在所述操作臺本體桌面上設置有通孔，所述勻膠機的托盤固定在所述通孔中；所述烘干裝置包括加熱絲、開關和烘干板，所述開關設置在操作臺本體的桌面一側，所述加熱絲位于烘干板下方，所述烘干板上表面等間距設置有若干凸筋）兩種樣式的設備；但是在實際使用中發(fā)現(xiàn)這兩種設備的溫度不能做到精確地控制，并且兩種加熱的方式容易產(chǎn)生“皮膚效應”，影響作業(yè)效果。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種能夠在旋轉過程中對膠液進行加熱并對溫度進行精確控制的加熱勻膠的旋涂裝置

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：

一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設置的轉軸，所述轉軸頂部套裝有一水平設置的載物盤，所述轉軸上套裝有隔熱盤和導電滑環(huán)，所述隔熱盤上安裝有加熱盤，所述加熱盤通過導電滑環(huán)與電源相連接，上述隔熱盤位于加熱盤和導電滑環(huán)之間，且加熱盤位于載物盤的下方。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述隔熱盤上設置有一沉孔，上述加熱盤套裝于轉軸上并位于該沉孔內。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤和加熱盤之間設置有一蓋板。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤內部為中空腔體，且載物盤的頂面上設置有多個與中空腔體相連通的吸附孔，所述轉軸中心沿其軸向設置有一抽氣通道，該抽氣通道的頂端與中空腔體相連通。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述載物盤的底面上設置有多個溫度傳感器。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述溫度傳感器通過導電滑環(huán)與外接溫控裝置相連接。

本發(fā)明一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述轉軸底部通過同步輪與電機軸傳動相連。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明在旋轉勻膠的同時能夠通過加熱盤對載物盤進行加熱，不僅能實現(xiàn)常規(guī)膠液的勻膠成膜作業(yè)，而且可以滿足有特殊溫度要求的膠液的使用需求，以此得到理想的成膜效果；同時通過精確的溫度控制，本發(fā)明專利邊旋轉邊加熱的功能可在勻膠的過程中同時實現(xiàn)烤膠作業(yè)。